① Is sainairíonna don teicneolaíocht taiscthe le cúnamh bhíoma ian greamaitheacht láidir idir an scannán agus an tsubstráit, agus tá an ciseal scannáin an-láidir. Léirigh turgnaimh go bhfuil: greamaitheacht taiscthe le cúnamh bhíoma ian méadaithe roinnt uaireanta go céadta uair níos mó ná greamaitheacht taiscthe gaile teirmeach, agus is é an chúis is mó leis seo ná éifeacht ghlantacháin an bhuamáil ian ar dhromchla an taiscthe, rud a chruthaíonn struchtúr comhéadain grádáin, nó ciseal trasdula hibrideach, ar chomhéadan bonn an scannáin, agus a laghdaíonn strus an scannáin.
② Is féidir le taisceadh le cúnamh bhíoma ian airíonna meicniúla an scannáin a fheabhsú, an saolré tuirse a fhadú, agus tá sé an-oiriúnach chun ocsaídí, cairbídí, BN ciúbach, TiB: agus sciath cosúil le diamant a ullmhú. Mar shampla, i cruach teasdhíonach 1Crl8Ni9Ti, nuair a úsáidtear teicneolaíocht taisceadh le cúnamh bhíoma ian chun SiN 200nm a fhás, ní hamháin gur féidir leis an scannán tanaí cosc a chur ar scoilteanna tuirse a chruthú ar dhromchla an ábhair, ach is féidir leis an ráta scaipthe scoilte tuirse a laghdú go suntasach freisin, rud a fhágann go bhfuil ról maith aige chun a shaolré a fhadú.
③ Is féidir le taisceadh le cúnamh bhíoma ian nádúr struis an scannáin a athrú agus a struchtúr criostalach a athrú. Mar shampla, nuair a ullmhaíodh scannán Cr le buamáil 11.5keV Xe + nó Ar + ar dhromchla an tsubstráit, fuarthas amach gur féidir le coigeartú teocht an tsubstráit, fuinneamh buamáil ian, cóimheas teachta ian agus adamh agus paraiméadair eile, an strus a athrú ó strus teanntachta go strus comhbhrúite, agus go dtiocfaidh athruithe ar struchtúr criostail an scannáin freisin. Faoi chóimheas áirithe ian le hadaimh, bíonn treoshuíomh roghnach níos fearr ag an taisceadh le cúnamh bhíoma ian ná an ciseal membrane a thaisctear trí thaisceadh teirmeach gaile.
④ Is féidir le taisceadh le cúnamh bhíoma ian friotaíocht creimeadh agus friotaíocht ocsaídiúcháin an scannáin a fheabhsú. Ós rud é go bhfuil an taisceadh le cúnamh bhíoma ian ar an tsraith scannáin dlúth, feabhsaítear struchtúr comhéadan bonn an scannáin nó foirmítear staid neamhchruthach mar gheall ar imeacht na teorann gráin idir na cáithníní, rud a chabhróidh le friotaíocht creimeadh agus friotaíocht ocsaídiúcháin an ábhair a fheabhsú.
Feabhas a chur ar fhriotaíocht creimeadh an ábhair agus seasamh in aghaidh éifeacht ocsaídiúcháin teocht ard.
(5) Is féidir le taisceadh le cúnamh bhíoma ian airíonna leictreamaighnéadacha an scannáin a athrú agus feidhmíocht scannán tanaí optúla a fheabhsú. (6) Ceadaíonn taisceadh le cúnamh ian fás scannán tanaí éagsúla ag teochtaí ísle agus seachnaíonn sé na héifeachtaí díobhálacha ar ábhair nó ar chodanna beachtais a bheadh mar thoradh ar chóireáil ag teochtaí arda, ós rud é gur féidir na paraiméadair a bhaineann le taisceadh adamhach agus ionchlannú ian a choigeartú go cruinn agus go neamhspleách, agus is féidir bratuithe de chúpla micriméadar le comhdhéanamh comhsheasmhach a ghiniúint go leanúnach ag fuinnimh bhuamála ísle.
Am an phoist: 7 Márta 2024