Yn ferliking mei ferdampingsplating en sputterplating is it wichtichste skaaimerk fan ionplating dat de enerzjike ioanen it substraat en de filmlaach bombardearje wylst de ôfsetting plakfynt. It bombardemint fan laden ioanen produseart in searje effekten, benammen as folget.
① Membraan/basis bonding krêft (adhesion) sterk, de filmlaach falt net maklik ôf fanwegen ionbombardemint fan it substraat generearre troch it sputtereffekt, sadat it substraat skjinmakke, aktivearre en ferwaarme wurdt, net allinich om de adsorpsje fan it gas op it oerflak fan it substraat en de fersmoarge laach te ferwiderjen, mar ek om it oerflak fan 'e substraatoksiden te ferwiderjen. Ionbombardemint fan ferwaarming en defekten kinne feroarsake wurde troch it ferbettere diffúzje-effekt fan it substraat, sawol om de kristallijne eigenskippen fan 'e substraatoerflaklaachorganisaasje te ferbetterjen, mar ek de betingsten te leverjen foar de foarming fan legearingsfazen; en hegere enerzjy ionbombardemint, mar produseart ek in beskate hoemannichte ionimplantaasje en ionstrielmingeffekt.
② Ionencoating produseart goede bypassstrieling by hegere druk (grutter as of gelyk oan 1 Pa). ionisearre dampionen of molekulen sille op har reis nei it substraat in oantal botsingen tsjinkomme foardat de gasmolekulen, sadat de filmdieltsjes om it substraat ferspraat wurde kinne, wêrtroch de dekking fan 'e filmlaach ferbetteret; en de ionisearre filmdieltsjes sille ek ûnder ynfloed fan it elektrysk fjild op it oerflak fan it substraat mei negative spanning ôfset wurde. Elke posysje op it oerflak fan it substraat mei negative spanning kin net berikt wurde troch ferdampingplating.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: 12 jannewaris 2024

