① Ionenbeam-assistearre ôfsettingstechnology wurdt karakterisearre troch sterke adhesion tusken de film en it substraat, wêrby't de filmlaach tige sterk is. Eksperiminten hawwe oantoand dat: de adhesion troch ionenbeam-assistearre ôfsetting ferskate kearen oant hûnderten kearen grutter is as de adhesion troch termyske dampôfsetting. De reden hjirfoar is benammen it reinigingseffekt fan it ionbombardemint op it oerflak, wêrtroch't de membraanbasis in gradiëntynterfacestruktuer of hybride oergongslaach foarmet, en ek de spanning fan it membraan ferminderet.
② Ionenbeam-assistearre ôfsetting kin de meganyske eigenskippen fan 'e film ferbetterje, de wurgenslibbensduur ferlingje, tige geskikt foar de tarieding fan oksiden, karbiden, kubike BN, TiB: en diamant-like coatings. Bygelyks, yn 1Crl8Ni9Ti hjittebestindige stiel op it gebrûk fan ionenbeam-assistearre ôfsettingstechnology om 200nm SiN, tinne film te groeien, kin net allinich it ûntstean fan wurgensbarsten op it oerflak fan it materiaal remme, mar kin ek de diffúzjesnelheid fan wurgensbarsten signifikant ferminderje, om syn libbensduur te ferlingjen, spilet in goede rol.
③ Ionenbeam-assistearre ôfsetting kin de spanningsaard fan 'e film feroarje en de kristallijne struktuer feroaret. Bygelyks, de tarieding fan Cr-film mei 11.5keV Xe + of Ar + bombardemint fan it substraatoerflak, fûn dat de oanpassing fan 'e substraattemperatuer, bombardemint-ionenerzjy, ion- en atoomoankomstferhâlding en oare parameters, de spanning kinne feroarje fan trekspanning nei kompresjespanning, de kristalstruktuer fan 'e film sil ek feroarings produsearje. Under in bepaalde ferhâlding fan ioanen ta atomen hat de ionenbeam-assistearre ôfsetting in bettere selektive oriïntaasje as de membraanlaach ôfset troch termyske dampôfsetting.
④ Ionenbeam-assistearre ôfsetting kin de korrosjebestriding en oksidaasjebestriding fan it membraan ferbetterje. Om't de ionenbeam-assistearre ôfsetting fan 'e membraanlaach ticht is, wurdt de struktuer fan 'e ynterface fan it membraanbasis ferbettere of ûntsteane der in amorfe steat troch it ferdwinen fan 'e kerrelgrins tusken de dieltsjes, wat bydraacht oan 'e ferbettering fan 'e korrosjebestriding en oksidaasjebestriding fan it materiaal.
Ferbetterje de korrosjebestriding fan it materiaal en wjerstean it oksidearjende effekt fan hege temperatuer.
(5) Ionenbeam-assistearre ôfsetting kin de elektromagnetyske eigenskippen fan 'e film feroarje en de prestaasjes fan optyske tinne films ferbetterje. (6) Ionen-assistearre ôfsetting makket de groei fan ferskate tinne films by lege temperatueren mooglik en foarkomt de negative effekten op materialen of presyzjeûnderdielen dy't feroarsake wurde soene troch behanneling by hege temperatueren, om't de parameters relatearre oan atoomôfsetting en ionymplantaasje sekuer en ûnôfhinklik oanpast wurde kinne, en coatings fan in pear mikrometer mei konsekwinte gearstalling kinne kontinu generearre wurde by lege bombardemintsenerzjy's.
Pleatsingstiid: 7 maart 2024