Verrattuna haihdutus- ja sputterointipinnoitukseen ionipinnoituksen tärkein ominaisuus on se, että energiset ionit pommittavat alustaa ja kalvokerrosta laskeutumisen aikana. Varautuneiden ionien pommittaminen tuottaa useita vaikutuksia, pääasiassa seuraavasti.
① Kalvon ja pohjan välinen sidosvoima (tartunta) on vahva, joten kalvokerros ei irtoa helposti substraatin sputterointivaikutuksen aiheuttaman ionipommituksen ansiosta. Näin substraatti puhdistuu, aktivoituu ja kuumenee, mikä poistaa paitsi substraatin pinnalle adsorboituneet kaasut ja saastuneen kerroksen, myös substraatin pinnan oksidit. Ionipommituksen aiheuttamat lämmitys- ja viat voivat johtua substraatin tehostuneesta diffuusiovaikutuksesta, mikä parantaa substraatin pintakerroksen kiteisiä ominaisuuksia ja luo edellytyksiä seosfaasien muodostumiselle. Korkeamman energian ionipommitus aiheuttaa myös tietyn määrän ionien istutusta ja ionisuihkun sekoitusvaikutusta.
② Ionipinnoite tuottaa hyvän ohitussäteilyn korkeammassa paineessa (yli 1 Pa tai yhtä suuri) ionisoituneet höyry-ionit tai -molekyylit kulkeutuvat alustalle ennen kuin kaasumolekyylit kohtaavat useita törmäyksiä, jolloin kalvohiukkaset voivat levitä alustan ympärille, mikä parantaa kalvokerroksen peittävyyttä; ja ionisoituneet kalvohiukkaset kerrostuvat myös sähkökentän vaikutuksesta alustan pinnalle negatiivisella jännitteellä. Mikä tahansa alustan pinnan kohta negatiivisella jännitteellä, jota ei voida saavuttaa haihdutuspinnoituksella.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 12. tammikuuta 2024