در مقایسه با آبکاری تبخیری و آبکاری کندوپاش، مهمترین ویژگی آبکاری یونی این است که یونهای پرانرژی، زیرلایه و لایه فیلم را در حین رسوبگذاری بمباران میکنند. بمباران یونهای باردار، مجموعهای از اثرات را ایجاد میکند که عمدتاً به شرح زیر است.
① نیروی پیوند غشاء/باز (چسبندگی) قوی، لایه فیلم به دلیل بمباران یونی زیرلایه که توسط اثر کندوپاش ایجاد میشود، به راحتی جدا نمیشود، به طوری که زیرلایه تمیز، فعال و گرم میشود، نه تنها برای حذف جذب گاز روی سطح زیرلایه و لایه آلوده، بلکه برای حذف اکسیدهای سطح زیرلایه. بمباران یونی میتواند باعث گرمایش و نقص شود که میتواند ناشی از اثر انتشار افزایش یافته زیرلایه باشد، هم برای بهبود خواص کریستالی سازماندهی لایه سطحی زیرلایه، و هم شرایط را برای تشکیل فازهای آلیاژی فراهم میکند؛ و بمباران یونی با انرژی بالاتر، بلکه مقدار مشخصی از کاشت یون و اثر اختلاط پرتو یونی را نیز ایجاد میکند.
② پوشش یونی به دلیل تولید تابش بایپس خوب در صورت فشار بالاتر (بیشتر یا مساوی 1Pa)، یونها یا مولکولهای بخار یونیزه شده را در سفر خود به سمت زیرلایه قبل از اینکه مولکولهای گاز با تعدادی برخورد مواجه شوند، از بین میبرد، بنابراین ذرات فیلم میتوانند در اطراف زیرلایه پراکنده شوند و در نتیجه پوشش لایه فیلم بهبود مییابد؛ و ذرات فیلم یونیزه شده نیز تحت عمل میدان الکتریکی روی سطح زیرلایه با ولتاژ منفی رسوب میکنند. هر موقعیتی روی سطح زیرلایه با ولتاژ منفی، که با آبکاری تبخیری قابل دستیابی نیست، وجود دارد.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۱۲ ژانویه ۲۰۲۴