Ioonkiire sadestamise tehnoloogia

① Ioonkiire abil sadestamise tehnoloogiat iseloomustab kile ja aluspinna vaheline tugev adhesioon, mis annab väga tugeva kilekihi. Katsed on näidanud, et ioonkiire abil sadestamise adhesioon on mitu korda kuni sadu kordi suurem kui termilise aurustamise adhesioon. Selle peamine põhjus on ioonide pommitamise puhastusefekt pinnal, mille tulemuseks on membraani alusliidese gradientstruktuur ehk hübriidne üleminekukiht, mis vähendab membraani pinget.

② Ioonkiire abil sadestamine võib parandada kile mehaanilisi omadusi, pikendada väsimuskestvust ning on väga sobiv oksiidide, karbiidide, kuupmeetrilise BN-i, TiB-i ja teemantkattekihtide valmistamiseks. Näiteks 1Crl8Ni9Ti kuumakindla terase puhul, mille puhul ioonkiire abil sadestamise tehnoloogia abil kasvatatakse 200 nm paksuse SiN-i õhukese kile, saab mitte ainult takistada väsimuspragude teket materjali pinnal, vaid ka oluliselt vähendada väsimuspragude difusioonikiirust, pikendades seega kile eluiga.

③ Ioonkiire abil sadestamine võib muuta kile pinge iseloomu ja selle kristallstruktuuri. Näiteks Cr-kile valmistamisel, mille käigus aluspinnale pommitati 11,5 keV Xe+ või Ar+ energiaga, leiti, et aluspinna temperatuuri, pommitamise ioonenergia, ioonide ja aatomite saabumissuhte ning muude parameetrite reguleerimine võib muuta pinget tõmbepingest survepingeks ja muuta kile kristallstruktuuri. Teatud ioonide ja aatomite suhte korral on ioonkiire abil sadestamisel parem selektiivne orientatsioon kui termilise aurustamise teel sadestatud membraanikihil.

④ Ioonkiire abil sadestamine võib parandada membraani korrosioonikindlust ja oksüdatsioonikindlust. Kuna ioonkiire abil sadestatud membraanikiht on tihe, paraneb membraani aluspinna struktuur või moodustub amorfne olek osakeste vahelise teradevahelise piiri kadumisest, mis omakorda suurendab materjali korrosioonikindlust ja oksüdatsioonikindlust.

Suurendage materjali korrosioonikindlust ja takistage kõrge temperatuuri oksüdeerivat mõju.

(5) Ioonkiire abil sadestamine võib muuta kile elektromagnetilisi omadusi ja parandada optiliste õhukeste kilede toimivust. (6) Ioonkiire abil sadestamine võimaldab kasvatada mitmesuguseid õhukesi kilesid madalatel temperatuuridel ja väldib materjalidele või täppisdetailidele avalduvat kahjulikku mõju, mida kõrgetel temperatuuridel töötlemine põhjustaks, kuna aatomsadestamise ja ioonide implanteerimisega seotud parameetreid saab täpselt ja sõltumatult reguleerida ning mõne mikromeetri paksuseid ühtlase koostisega katteid saab pidevalt tekitada madalate pommitamisenergiate juures.