Kompare kun vaporiĝa tegaĵo kaj ŝpruta tegaĵo, la plej grava trajto de jona tegaĵo estas, ke la energiaj jonoj bombadas la substraton kaj la filman tavolon dum la deponado okazas. La bombado de ŝargitaj jonoj produktas serion da efikoj, ĉefe jene.
① La ligforto (adhero) de la membrano/bazo estas forta, do la filmtavolo ne facile defalas pro la jona bombado de la substrato, generita per la ŝprucefiko. Tiel la substrato estas purigita, aktivigita kaj varmigita, ne nur por forigi la adsorbadon de la gaso sur la surfaco de la substrato kaj la poluitan tavolon, sed ankaŭ por forigi la surfacon de la substrataj oksidoj. La varmiĝo kaj difektoj de la jona bombado povas esti kaŭzitaj de la plifortigita difuza efiko de la substrato, kaj por plibonigi la kristalajn ecojn de la substrata surfaca tavolo-organizo, sed ankaŭ por provizi la kondiĉojn por la formado de alojfazoj; kaj pli altenergia jona bombado ankaŭ produktas certan kvanton da jona implantado kaj jonfaska miksa efiko.
② Jona tegaĵo, pro tio ke ĝi produktas bonan preteriran radiadon ĉe pli alta premo (pli granda ol aŭ egala al 1Pa), jonigitaj vaporjonoj aŭ molekuloj trafas la substraton antaŭ ol la gasmolekuloj renkontas kelkajn koliziojn, tiel ke la filmpartikloj povas esti disigitaj ĉirkaŭ la substrato, tiel plibonigante la kovron de la filmtavolo; kaj la jonigitaj filmpartikloj ankaŭ deponiĝos sub la ago de la elektra kampo sur la surfaco de la substrato kun negativa tensio en iu ajn pozicio sur la surfaco de la substrato kun negativa tensio, kion ne eblas atingi per vaporiga tegaĵo.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 12-januaro-2024