Σε σύγκριση με την επιμετάλλωση με εξάτμιση και την επιμετάλλωση με ψεκασμό, το πιο σημαντικό χαρακτηριστικό της επιμετάλλωσης με ιόντα είναι ότι τα ενεργητικά ιόντα βομβαρδίζουν το υπόστρωμα και το στρώμα της μεμβράνης κατά την εναπόθεση. Ο βομβαρδισμός με φορτισμένα ιόντα παράγει μια σειρά από φαινόμενα, κυρίως ως εξής.
① Δύναμη σύνδεσης μεμβράνης/βάσης (πρόσφυση) ισχυρή, το στρώμα της μεμβράνης δεν αποκολλάται εύκολα λόγω του βομβαρδισμού με ιόντα του υποστρώματος που παράγεται από το φαινόμενο ψεκασμού, έτσι ώστε το υπόστρωμα να καθαρίζεται, να ενεργοποιείται και να θερμαίνεται, όχι μόνο για να αφαιρεθεί η προσρόφηση του αερίου στην επιφάνεια του υποστρώματος και το μολυσμένο στρώμα, αλλά και για να αφαιρεθούν τα οξείδια της επιφάνειας του υποστρώματος. Ο βομβαρδισμός με ιόντα, η θέρμανση και τα ελαττώματα μπορούν να προκληθούν από την ενισχυμένη επίδραση διάχυσης του υποστρώματος, τόσο για τη βελτίωση των κρυσταλλικών ιδιοτήτων της οργάνωσης του επιφανειακού στρώματος του υποστρώματος, όσο και για την παροχή των συνθηκών για τον σχηματισμό φάσεων κράματος. και βομβαρδισμός με ιόντα υψηλότερης ενέργειας, αλλά παράγει επίσης μια ορισμένη ποσότητα εμφύτευσης ιόντων και εφέ ανάμειξης δέσμης ιόντων.
② Η επίστρωση ιόντων λόγω της παραγωγής καλής παράκαμψης της ακτινοβολίας σε περίπτωση υψηλότερης πίεσης (μεγαλύτερης ή ίσης με 1Pa) είναι ιονισμένα ιόντα ατμού ή μόρια στο ταξίδι τους προς το υπόστρωμα πριν τα μόρια αερίου συναντήσουν έναν αριθμό συγκρούσεων, έτσι ώστε τα σωματίδια της μεμβράνης να μπορούν να διασκορπιστούν γύρω από το υπόστρωμα, βελτιώνοντας έτσι την κάλυψη του στρώματος της μεμβράνης. και τα ιονισμένα σωματίδια της μεμβράνης θα εναποτεθούν επίσης υπό την επίδραση του ηλεκτρικού πεδίου στην επιφάνεια του υποστρώματος με αρνητική τάση. Οποιαδήποτε θέση στην επιφάνεια του υποστρώματος με αρνητική τάση δεν μπορεί να επιτευχθεί με επιμετάλλωση με εξάτμιση.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 12 Ιανουαρίου 2024