① Η τεχνολογία εναπόθεσης με υποβοήθηση δέσμης ιόντων χαρακτηρίζεται από ισχυρή πρόσφυση μεταξύ της μεμβράνης και του υποστρώματος, με το στρώμα της μεμβράνης να είναι πολύ ισχυρό. Πειράματα έχουν δείξει ότι: η πρόσφυση της εναπόθεσης με υποβοήθηση δέσμης ιόντων από την πρόσφυση της θερμικής εναπόθεσης ατμών αυξάνεται αρκετές φορές έως εκατοντάδες φορές, ο λόγος οφείλεται κυρίως στον βομβαρδισμό ιόντων στην επιφάνεια του καθαρισμού, έτσι ώστε η διεπαφή βάσης μεμβράνης να σχηματίζει μια βαθμιδωτή διεπιφανειακή δομή ή υβριδικό μεταβατικό στρώμα, καθώς και να μειώνει την τάση της μεμβράνης.
② Η εναπόθεση με υποβοήθηση δέσμης ιόντων μπορεί να βελτιώσει τις μηχανικές ιδιότητες της μεμβράνης, να παρατείνει τη διάρκεια ζωής της λόγω κόπωσης, πολύ κατάλληλη για την παρασκευή οξειδίων, καρβιδίων, κυβικών BN, TiB: και διαμαντοειδών επιστρώσεων. Για παράδειγμα, στον ανθεκτικό στη θερμότητα χάλυβα 1Crl8Ni9Ti, η χρήση τεχνολογίας εναπόθεσης με υποβοήθηση δέσμης ιόντων για την ανάπτυξη λεπτής μεμβράνης SiN 200nm, όχι μόνο μπορεί να αναστείλει την εμφάνιση ρωγμών κόπωσης στην επιφάνεια του υλικού, αλλά μπορεί επίσης να μειώσει σημαντικά τον ρυθμό διάχυσης των ρωγμών κόπωσης, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του, παίζοντας καλό ρόλο.
③ Η εναπόθεση με υποβοήθηση δέσμης ιόντων μπορεί να αλλάξει την τάση της μεμβράνης και να αλλάξει την κρυσταλλική της δομή. Για παράδειγμα, κατά την παρασκευή μεμβράνης Cr με βομβαρδισμό της επιφάνειας του υποστρώματος με 11,5keV Xe+ ή Ar+, διαπιστώθηκε ότι η ρύθμιση της θερμοκρασίας του υποστρώματος, της ενέργειας των ιόντων βομβαρδισμού, του λόγου άφιξης ιόντων και ατόμων και άλλων παραμέτρων, μπορεί να μετατρέψει την τάση από εφελκυστική σε θλιπτική, με αποτέλεσμα αλλαγές και στην κρυσταλλική δομή της μεμβράνης. Υπό μια ορισμένη αναλογία ιόντων προς άτομα, η εναπόθεση με υποβοήθηση δέσμης ιόντων έχει καλύτερο επιλεκτικό προσανατολισμό από το στρώμα μεμβράνης που εναποτίθεται με θερμική εναπόθεση ατμών.
④ Η εναπόθεση με δέσμη ιόντων μπορεί να ενισχύσει την αντοχή στη διάβρωση και την αντοχή στην οξείδωση της μεμβράνης. Καθώς η εναπόθεση με δέσμη ιόντων στο στρώμα της μεμβράνης είναι πυκνή, η δομή της διεπαφής της βάσης της μεμβράνης βελτιώνεται ή ο σχηματισμός άμορφης κατάστασης προκαλείται από την εξαφάνιση του ορίου των κόκκων μεταξύ των σωματιδίων, γεγονός που ευνοεί την ενίσχυση της αντοχής στη διάβρωση και την αντοχή στην οξείδωση του υλικού.
Ενισχύστε την αντοχή στη διάβρωση του υλικού και αντισταθείτε στην οξειδωτική επίδραση της υψηλής θερμοκρασίας.
(5) Η εναπόθεση με υποβοήθηση δέσμης ιόντων μπορεί να αλλάξει τις ηλεκτρομαγνητικές ιδιότητες της μεμβράνης και να βελτιώσει την απόδοση των λεπτών οπτικών μεμβρανών. (6) Η εναπόθεση με υποβοήθηση ιόντων επιτρέπει την ανάπτυξη διαφόρων λεπτών μεμβρανών σε χαμηλές θερμοκρασίες και αποφεύγει τις δυσμενείς επιπτώσεις σε υλικά ή εξαρτήματα ακριβείας που θα προκληθούν από την επεξεργασία σε υψηλές θερμοκρασίες, καθώς οι παράμετροι που σχετίζονται με την ατομική εναπόθεση και την εμφύτευση ιόντων μπορούν να ρυθμιστούν με ακρίβεια και ανεξάρτητα, και επιστρώσεις μερικών μικρομέτρων με σταθερή σύνθεση μπορούν να δημιουργηθούν συνεχώς σε χαμηλές ενέργειες βομβαρδισμού.
Ώρα δημοσίευσης: 07 Μαρτίου 2024