O'i gymharu â phlatio anweddu a phlatio chwistrellu, nodwedd bwysicaf platio ïonau yw bod yr ïonau egnïol yn peledu'r swbstrad a'r haen ffilm wrth i ddyddodiad ddigwydd. Mae peledu ïonau gwefredig yn cynhyrchu cyfres o effeithiau, yn bennaf fel a ganlyn.
① Mae grym bondio pilen/sylfaen (adlyniad) cryf, ac nid yw'r haen ffilm yn cwympo'n hawdd oherwydd effaith chwistrellu'r swbstrad gan fomio ïonau, fel bod y swbstrad yn cael ei lanhau, ei actifadu a'i gynhesu, nid yn unig i gael gwared ar amsugno nwy ar wyneb y swbstrad a'r haen halogedig, ond hefyd i gael gwared ar ocsidau wyneb y swbstrad. Gall gwresogi a diffygion bomio ïonau gael eu hachosi gan effaith trylediad gwell y swbstrad, gan wella priodweddau crisialog trefniadaeth haen wyneb y swbstrad, ond hefyd darparu'r amodau ar gyfer ffurfio cyfnodau aloi; a bomio ïonau ynni uwch, ond hefyd yn cynhyrchu rhywfaint o effaith mewnblannu ïonau a chymysgu trawst ïonau.
② Mae cotio ïonau oherwydd ei fod yn cynhyrchu ymbelydredd osgoi da mewn achos o bwysau uwch (yn fwy na neu'n hafal i 1Pa) yn ïonau neu foleciwlau anwedd ïoneiddiedig yn eu taith i'r swbstrad cyn i'r moleciwlau nwy ddod ar draws nifer o wrthdrawiadau, felly gellir gwasgaru gronynnau'r ffilm o amgylch y swbstrad, a thrwy hynny wella gorchudd yr haen ffilm; a bydd y gronynnau ffilm ïoneiddiedig hefyd yn cael eu dyddodi o dan weithred y maes trydan ar wyneb y swbstrad â foltedd negyddol Unrhyw safle ar wyneb y swbstrad â foltedd negyddol, na ellir ei gyflawni trwy blatio anweddu.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Ion-12-2024