① Nodweddir technoleg dyddodiad â chymorth trawst ïon gan adlyniad cryf rhwng y ffilm a'r swbstrad, ac mae'r haen ffilm yn gryf iawn. Mae arbrofion wedi dangos bod: adlyniad dyddodiad â chymorth trawst ïon yn cynyddu sawl gwaith i gannoedd o weithiau nag adlyniad dyddodiad anwedd thermol, a'r rheswm yn bennaf yw effaith glanhau'r bomio ïon ar yr wyneb, gan ffurfio strwythur rhyngwyneb graddiant ar sail y bilen, neu haen drawsnewid hybrid, a lleihau straen y bilen.
② Gall dyddodiad â chymorth trawst ïon wella priodweddau mecanyddol y ffilm, ymestyn oes blinder, ac mae'n addas iawn ar gyfer paratoi ocsidau, carbidau, BN ciwbig, TiB: a haenau tebyg i ddiamwnt. Er enghraifft, mewn dur gwrthsefyll gwres 1Crl8Ni9Ti, gall defnyddio technoleg dyddodiad â chymorth trawst ïon i dyfu ffilm denau SiN 200nm, nid yn unig atal ymddangosiad craciau blinder ar wyneb y deunydd, ond gall hefyd leihau cyfradd trylediad craciau blinder yn sylweddol, gan ymestyn ei oes.
③ Gall dyddodiad â chymorth trawst ïon newid natur straen y ffilm a newidiadau i'w strwythur crisialog. Er enghraifft, wrth baratoi ffilm Cr gyda bomio 11.5keV Xe + neu Ar + ar wyneb y swbstrad, canfuwyd bod addasu tymheredd y swbstrad, egni ïon y bomio, cymhareb cyrraedd ïonau ac atomau a pharamedrau eraill, yn gallu newid y straen o straen tynnol i straen cywasgol, a bydd strwythur crisial y ffilm hefyd yn cynhyrchu newidiadau. O dan gymhareb benodol o ïonau i atomau, mae gan y dyddodiad â chymorth trawst ïon gyfeiriadedd dethol gwell na'r haen bilen a ddyddodir gan ddyddodiad anwedd thermol.
④ Gall dyddodiad â chymorth trawst ïon wella ymwrthedd cyrydiad a gwrthiant ocsideiddio'r bilen. Gan fod dyddodiad â chymorth trawst ïon yr haen bilen yn drwchus, mae gwelliant strwythur rhyngwyneb sylfaen y bilen neu ffurfio cyflwr amorffaidd a achosir gan ddiflaniad y ffin graen rhwng y gronynnau, sy'n ffafriol i wella ymwrthedd cyrydiad a gwrthiant ocsideiddio'r deunydd.
Gwella ymwrthedd cyrydiad y deunydd a gwrthsefyll effaith ocsideiddio tymheredd uchel.
(5) Gall dyddodiad â chymorth trawst ïon newid priodweddau electromagnetig y ffilm a gwella perfformiad ffilmiau tenau optegol. (6) Mae dyddodiad â chymorth ïon yn caniatáu twf amrywiol ffilmiau tenau ar dymheredd isel ac yn osgoi'r effeithiau andwyol ar ddeunyddiau neu rannau manwl a fyddai'n cael eu hachosi gan driniaeth ar dymheredd uchel, gan y gellir addasu'r paramedrau sy'n gysylltiedig â dyddodiad atomig ac mewnblannu ïonau yn gywir ac yn annibynnol, a gellir cynhyrchu haenau o ychydig ficrometrau gyda chyfansoddiad cyson yn barhaus ar egni bomio isel.
Amser postio: Mawrth-07-2024