① Tehnologija taloženja uz pomoć jonskog snopa karakterizira se jakom adhezijom između filma i podloge, pri čemu je sloj filma vrlo čvrst. Eksperimenti su pokazali da se adhezija kod taloženja uz pomoć jonskog snopa povećava nekoliko puta, pa čak i stotinama puta, u odnosu na termičko taloženje iz pare. Razlog tome je uglavnom bombardovanje jonima koje djeluje na površinu i koje djeluje kao efekat čišćenja. Baza membrane formira gradijentnu strukturu na granici faza ili hibridni prelazni sloj, što smanjuje naprezanje membrane.
② Taloženje uz pomoć ionskog snopa može poboljšati mehanička svojstva filma, produžiti vijek trajanja od zamora, što je vrlo pogodno za pripremu oksida, karbida, kubnog BN, TiB: i dijamantskih premaza. Na primjer, kod čelika otpornog na toplinu 1Crl8Ni9Ti, korištenje tehnologije taloženja uz pomoć ionskog snopa za uzgoj tankog filma SiN debljine 200 nm ne samo da može spriječiti pojavu pukotina usljed zamora na površini materijala, već i značajno smanjiti brzinu difuzije pukotina usljed zamora, što ima važnu ulogu u produžavanju vijeka trajanja.
③ Taloženje uz pomoć jonskog snopa može promijeniti prirodu napona filma i njegovu kristalnu strukturu. Na primjer, prilikom pripreme Cr filma bombardovanjem površine supstrata Xe+ ili Ar+ ionima od 11,5 keV, utvrđeno je da podešavanje temperature supstrata, energije bombardovanja jona, odnosa dolaska jona i atoma i drugih parametara može promijeniti napon od zateznog do tlačnog napona, što će također izazvati promjene u kristalnoj strukturi filma. Pod određenim odnosom jona i atoma, taloženje uz pomoć jonskog snopa ima bolju selektivnu orijentaciju od membranskog sloja taloženog termičkim taloženjem iz pare.
④ Taloženje uz pomoć jonskog snopa može poboljšati otpornost membrane na koroziju i oksidaciju. Budući da je sloj membrane taložen uz pomoć jonskog snopa gust, struktura baze membrane na granici čestica se poboljšava ili dolazi do formiranja amorfnog stanja zbog nestanka granica zrna između čestica, što doprinosi povećanju otpornosti materijala na koroziju i oksidaciju.
Poboljšajte otpornost materijala na koroziju i oduprite se oksidativnom efektu visoke temperature.
(5) Taloženje uz pomoć ionskog snopa može promijeniti elektromagnetna svojstva filma i poboljšati performanse optičkih tankih filmova. (6) Taloženje uz pomoć ionskog snopa omogućava rast različitih tankih filmova na niskim temperaturama i izbjegava negativne efekte na materijale ili precizne dijelove koji bi bili uzrokovani obradom na visokim temperaturama, budući da se parametri vezani za atomsko taloženje i implantaciju iona mogu precizno i nezavisno podesiti, a premazi od nekoliko mikrometara sa konzistentnim sastavom mogu se kontinuirano generirati pri niskim energijama bombardovanja.
Vrijeme objave: 07.03.2024.