ভ্যাকুয়াম আয়ন আবরণ (যাকে আয়ন প্রলেপ বলা হয়) হল ১৯৬৩ সালে মার্কিন যুক্তরাষ্ট্রে সোমদিয়া কোম্পানি ডিএম ম্যাটক্স প্রস্তাব করেছিল, ১৯৭০ এর দশকে একটি নতুন পৃষ্ঠ চিকিত্সা প্রযুক্তির দ্রুত বিকাশ ঘটে। এটি ভ্যাকুয়াম বায়ুমণ্ডলে বাষ্পীভবন উৎস বা স্পুটারিং লক্ষ্যের ব্যবহারকে বোঝায় যাতে ফিল্ম উপাদান বাষ্পীভবন বা স্পুটারিং, স্পুটারিং বা স্পুটারিং গ্যাস স্রাব স্থানের কণার একটি অংশ থেকে বেরিয়ে ধাতব আয়নে আয়নিত হয়।
এই কণাগুলি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের ক্রিয়ায় সাবস্ট্রেটে জমা হয় এবং একটি পাতলা ফিল্ম প্রক্রিয়া তৈরি করে।
বিভিন্ন ধরণের ভ্যাকুয়াম আয়ন প্লেটিং, সাধারণত ঝিল্লি উপাদান অনুসারে আয়ন উৎস তৈরি করা হয়, দুটি ভাগে বিভক্ত: বাষ্পীভবন উৎস ধরণের আয়ন প্লেটিং এবং স্পুটারিং লক্ষ্য ধরণের আয়ন প্লেটিং। প্রথমটি ধাতব বাষ্প তৈরির জন্য ফিল্ম উপাদানকে উত্তপ্ত করে বাষ্পীভূত করা হয়, যাতে এটি আংশিকভাবে ধাতব বাষ্প এবং গ্যাস নিঃসরণ প্লাজমার স্থানের উচ্চ-শক্তি নিরপেক্ষ পরমাণুতে আয়নিত হয়, বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের ভূমিকার মাধ্যমে পাতলা ফিল্ম তৈরির জন্য সাবস্ট্রেটে পৌঁছায়; দ্বিতীয়টি হল ফিল্ম উপাদান বোমাবর্ষণের পৃষ্ঠে উচ্চ-শক্তি আয়ন (যেমন, Ar +) ব্যবহার করে গ্যাস নিঃসরণ আয়ন বা উচ্চ-শক্তি নিরপেক্ষ পরমাণুতে আয়নিত গ্যাস নিঃসরণের স্থানের মধ্য দিয়ে কণা থেকে স্পুটারিং বের করে, সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে পৌঁছাতে এবং ফিল্ম তৈরি করতে।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: মার্চ-০৭-২০২৪