বাষ্পীভবন প্রলেপ এবং স্পুটারিং প্রলেপের তুলনায়, আয়ন প্রলেপের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বৈশিষ্ট্য হল যে জমা হওয়ার সময় শক্তিমান আয়নগুলি সাবস্ট্রেট এবং ফিল্ম স্তরের উপর বোমাবর্ষণ করে। চার্জযুক্ত আয়নগুলির বোমাবর্ষণ বিভিন্ন প্রভাব তৈরি করে, প্রধানত নিম্নরূপ।
① ঝিল্লি / বেস বন্ধন বল (আনুগত্য) শক্তিশালী, স্পুটারিং প্রভাব দ্বারা উত্পন্ন সাবস্ট্রেটের আয়ন বোমাবর্ষণের কারণে ফিল্ম স্তরটি পড়ে যাওয়া সহজ নয়, যাতে সাবস্ট্রেটটি পরিষ্কার, সক্রিয় এবং উত্তপ্ত হয়, কেবল সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠ এবং দূষিত স্তরের গ্যাসের শোষণ দূর করতে নয়, বরং সাবস্ট্রেট অক্সাইডের পৃষ্ঠ অপসারণ করতেও। সাবস্ট্রেটের বর্ধিত প্রসারণ প্রভাবের কারণে আয়ন বোমাবর্ষণ এবং ত্রুটি দেখা দিতে পারে, যা সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠ স্তর সংগঠনের স্ফটিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে উন্নত করতে পারে, তবে খাদ পর্যায় গঠনের জন্য শর্তও প্রদান করে; এবং উচ্চ শক্তি আয়ন বোমাবর্ষণ, তবে একটি নির্দিষ্ট পরিমাণে আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং আয়ন রশ্মি মিশ্রণ প্রভাবও তৈরি করে।
② উচ্চ চাপের (1Pa এর চেয়ে বেশি বা সমান) ক্ষেত্রে ভালো বাইপাসিং বিকিরণ উৎপন্ন করার কারণে আয়ন আবরণ হল আয়নযুক্ত বাষ্প আয়ন বা অণু যা গ্যাসের অণুগুলির সাথে একাধিক সংঘর্ষের সম্মুখীন হওয়ার আগে সাবস্ট্রেটের দিকে যাত্রা করে, ফলে ফিল্ম কণাগুলি সাবস্ট্রেটের চারপাশে ছড়িয়ে ছিটিয়ে থাকতে পারে, ফলে ফিল্ম স্তরের কভারেজ উন্নত হয়; এবং আয়নযুক্ত ফিল্ম কণাগুলিও সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের ক্রিয়ায় জমা হবে নেতিবাচক ভোল্টেজ সহ সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠের যেকোনো অবস্থান, যা বাষ্পীভবন প্রলেপ দ্বারা অর্জন করা যায় না।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: জানুয়ারী-১২-২০২৪