① Тэхналогія іённа-прамянёвага нанясення характарызуецца моцнай адгезіяй паміж плёнкай і падкладкай, прычым пласт плёнкі вельмі трывалы. Эксперыменты паказалі, што: адгезія пры іённа-прамянёвым нанясенні павялічваецца ў некалькі разоў ці нават у сотні разоў у параўнанні з адгезіяй пры тэрмічным нанясенні з паравой фазы. Прычына ў асноўным у тым, што іённая бамбардзіроўка паверхні ачышчае яе, у выніку чаго на мяжы паміж мембранай і асновай утвараецца градыентная міжфазная структура або гібрыдны пераходны пласт, што зніжае напружанне мембраны.
② Іённа-прамянёвае нанясенне можа палепшыць механічныя ўласцівасці плёнкі, падоўжыць тэрмін службы, вельмі падыходзіць для атрымання аксідных, карбідных, кубічных BN, TiB: і алмазопадобных пакрыццяў. Напрыклад, у цеплатрывалай сталі 1Crl8Ni9Ti пры выкарыстанні тэхналогіі іённа-прамянёвага нанясення для вырошчвання тонкай плёнкі SiN таўшчынёй 200 нм не толькі можа перашкаджаць з'яўленню стомленых расколін на паверхні матэрыялу, але і можа значна знізіць хуткасць распаўсюджвання стомленых расколін, што адыгрывае добрую ролю ў падаўжэнні тэрміну службы.
③ Іонна-прамянёвае нанясенне можа змяніць характар напружання ў плёнцы і яе крышталічную структуру. Напрыклад, пры падрыхтоўцы плёнкі Cr з бамбардзіроўкай паверхні падкладкі Xe+ або Ar+ з энергіяй 11,5 кэВ было выяўлена, што змяненне тэмпературы падкладкі, энергіі бамбардзіроўкі іонаў, суадносін прыбыцця іонаў і атамаў і іншых параметраў можа змяніць напружанне ад расцяжнога да сціскальнага, што таксама прывядзе да зменаў у крышталічнай структуры плёнкі. Пры пэўным суадносінах іонаў і атамаў іонна-прамянёвае нанясенне мае лепшую селектыўную арыентацыю, чым мембранны пласт, нанесены метадам тэрмічнага нанясення з паравой фазы.
④ Іонна-прамянёвае нанясенне можа палепшыць каразійную стойкасць і акісляльную стойкасць мембраны. Паколькі мембранны пласт, нанесены з дапамогай іонна-прамянёвага нанясення, мае шчыльнасць, гэта паляпшае структуру паверхні мембраны або ўтварае аморфны стан з-за знікнення межаў зерняў паміж часціцамі, што спрыяе павышэнню каразійнай стойкасці і акісляльнай стойкасці матэрыялу.
Павышае каразійную ўстойлівасць матэрыялу і супрацьстаіць акісляльнаму ўздзеянню высокіх тэмператур.
(5) Іонна-прамянёвае нанясенне можа змяніць электрамагнітныя ўласцівасці плёнкі і палепшыць характарыстыкі аптычных тонкіх плёнак. (6) Іонна-прамянёвае нанясенне дазваляе вырошчваць розныя тонкія плёнкі пры нізкіх тэмпературах і пазбягае неспрыяльнага ўздзеяння на матэрыялы або дакладныя дэталі, якія могуць быць выкліканы апрацоўкай пры высокіх тэмпературах, паколькі параметры, звязаныя з атамным нанясеннем і іоннай імплантацыяй, можна дакладна і незалежна рэгуляваць, і пакрыцці таўшчынёй у некалькі мікраметраў з аднолькавым складам можна ствараць бесперапынна пры нізкіх энергіях бамбардзіроўкі.
Час публікацыі: 07 сакавіка 2024 г.