Buxarlanma və püskürtmə örtükləri ilə müqayisədə, ion örtüklərinin ən vacib xüsusiyyəti, çökmə zamanı enerjili ionların substratı və film təbəqəsini bombalamasıdır. Yüklü ionların bombardmanı əsasən aşağıdakı kimi bir sıra effektlər yaradır.
① Membran / əsas yapışdırma qüvvəsi (yapışma) güclüdür, püskürtmə effekti ilə yaranan substratın ion bombardmanı səbəbindən film təbəqəsi düşmək asan deyil, beləliklə substrat təmizlənir, aktivləşdirilir və qızdırılır, yalnız substratın səthindəki qazın adsorbsiyasını və çirklənmiş təbəqəni aradan qaldırmaq üçün deyil, həm də substratın səthini çıxarır. istilik və qüsurları ion bombardmanı substrat səthi qat təşkilat kristal xassələri yaxşılaşdırılması, həm də substratın gücləndirilmiş diffuziya təsiri səbəb ola bilər, həm də ərinti mərhələləri formalaşması üçün şərait təmin edir; və daha yüksək enerjili ion bombardmanı, həm də müəyyən miqdarda ion implantasiyası və ion şüası qarışdırma effekti yaradır.
② Yüksək təzyiq (1Pa-dan çox və ya ona bərabər) zamanı yaxşı yan keçirici radiasiya əmələ gətirdiyinə görə ion örtüyü qaz molekulları bir sıra toqquşmalara məruz qalmazdan əvvəl substrata ionlaşmış buxar ionları və ya molekullardır, beləliklə, film hissəcikləri substratın ətrafına səpələnə bilər; və ionlaşmış film hissəcikləri də elektrik sahəsinin təsiri altında mənfi gərginlikli substratın səthində çökəcək.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 12 yanvar 2024-cü il