① İon şüasının köməyi ilə çökmə texnologiyası film və substrat arasında güclü yapışma ilə xarakterizə olunur, film təbəqəsi çox güclüdür. Təcrübələr göstərdi ki: ion şüası ilə yapışma ilə yapışma, termal buxar çöküntüsünün yapışmasından bir neçə dəfə yüzlərlə dəfə artdı, bunun səbəbi əsasən təmizləyici təsirin səthində ion bombardmanı ilə bağlıdır, beləliklə, membran bazası interfeysi gradient interfasial quruluş və ya hibrid keçid təbəqəsi yaratmaq, həmçinin membranın gərginliyini azaltmaqdır.
② İon şüasının köməyi ilə çökmə filmin mexaniki xassələrini yaxşılaşdıra, yorğunluq müddətini uzada bilər, oksidlərin, karbidlərin, kub BN, TiB: və almaza bənzər örtüklərin hazırlanması üçün çox uyğundur. Məsələn, 1Crl8Ni9Ti istiliyədavamlı poladda 200nm SiN, nazik film yetişdirmək üçün ion şüa yardımlı çökmə texnologiyasından istifadə etməklə materialın səthində yorğunluq çatlarının yaranmasına mane ola bilməz, həm də yorğunluq çatlaqlarının diffuziya sürətini əhəmiyyətli dərəcədə azalda bilər, ömrünü uzatmaq üçün yaxşı rol oynayır.
③ İon şüasının köməyi ilə çökmə filmin gərginlik xarakterini və onun kristal quruluşunu dəyişdirə bilər. Məsələn, substrat səthinin 11.5keV Xe + və ya Ar + bombardmanı ilə Cr filminin hazırlanması, substratın temperaturunun, bombardman ionunun enerjisinin, ion və atomun gəliş nisbətinin və digər parametrlərin tənzimlənməsinin gərginliyi dartılmadan sıxılma stresinə çevirə biləcəyini tapdı, filmin kristal quruluşu da dəyişikliklər yaradacaq. İonların atomlara müəyyən nisbəti altında, ion şüasının köməyi ilə çökmə termal buxarın çökməsi ilə yığılmış membran təbəqəsindən daha yaxşı seçici oriyentasiyaya malikdir.
④ İon şüasının köməyi ilə çökmə membranın korroziyaya davamlılığını və oksidləşmə müqavimətini artıra bilər. Membran təbəqəsinin ion şüası ilə çöküntüsü sıx olduğundan, membranın əsas interfeysi strukturunun yaxşılaşması və ya hissəciklər arasında taxıl sərhədinin yox olması səbəbindən amorf vəziyyətin formalaşması, materialın korroziyaya davamlılığının və oksidləşmə müqavimətinin artmasına kömək edir.
Materialın korroziyaya davamlılığını artırın və yüksək temperaturun oksidləşdirici təsirinə müqavimət göstərin.
(5) İon şüasının köməyi ilə çökmə filmin elektromaqnit xüsusiyyətlərini dəyişdirə və optik nazik filmlərin işini yaxşılaşdıra bilər. (6) İon yardımlı çökmə aşağı temperaturda müxtəlif nazik təbəqələrin böyüməsinə imkan verir və yüksək temperaturda emal nəticəsində materiallara və ya dəqiq hissələrə mənfi təsirlərin qarşısını alır, çünki atom çökməsi və ion implantasiyası ilə bağlı parametrlər dəqiq və müstəqil şəkildə tənzimlənə bilər və ardıcıl tərkibli bir neçə mikrometrlik örtüklər davamlı olaraq aşağı bombardmanlarda yaradıla bilər.
Göndərmə vaxtı: 07 mart 2024-cü il