طلاء الأيونات الفراغي (يُشار إليه بالطلاء الأيوني) هو تقنية جديدة لمعالجة الأسطح، اقترحتها شركة سومديا الأمريكية دي إم ماتوكس عام ١٩٦٣. شهدت سبعينيات القرن الماضي تطورًا سريعًا لتقنية جديدة لمعالجة الأسطح. يشير هذا إلى استخدام مصدر تبخر أو هدف رش في جو مفرغ، بحيث تتأين جزيئات الفيلم، أو جزء منها، في فراغ تفريغ الغاز، إلى أيونات معدنية.
يتم ترسيب هذه الجسيمات على الركيزة تحت تأثير المجال الكهربائي لتوليد عملية الفيلم الرقيق.
تُقسّم أنواع الطلاء الأيوني الفراغي، عادةً حسب مادة الغشاء المُنتِجة لمصدر الأيونات، إلى نوعين: الطلاء الأيوني بمصدر التبخير، والطلاء الأيوني بهدف الرش. يُبخّر النوع الأول بتسخين مادة الغشاء لإنتاج أبخرة معدنية، بحيث تتأين جزئيًا إلى أبخرة معدنية وذرات متعادلة عالية الطاقة في فراغ بلازما التفريغ الغازي، وذلك من خلال المجال الكهربائي الذي يصل إلى الركيزة لتوليد أغشية رقيقة؛ أما النوع الثاني، فيتمثل في استخدام أيونات عالية الطاقة (مثل Ar+) على سطح مادة الغشاء لقصف الجسيمات المتأينة برذاذ عبر فراغ تفريغ الغاز إلى أيونات أو ذرات متعادلة عالية الطاقة، للوصول إلى سطح الركيزة وتكوين الغشاء.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٧ مارس ٢٠٢٤