بالمقارنة مع الطلاء بالتبخير والرش، فإن أهم ميزة للطلاء الأيوني هي قصف الأيونات النشطة للركيزة وطبقة الغشاء أثناء الترسيب. يُنتج قصف الأيونات المشحونة سلسلة من التأثيرات، أهمها ما يلي:
① قوة الترابط بين الغشاء والقاعدة (الالتصاق) قوية، طبقة الفيلم ليست سهلة للسقوط بسبب القصف الأيوني للركيزة الناتجة عن تأثير الرش، بحيث يتم تنظيف الركيزة وتنشيطها وتسخينها، ليس فقط لإزالة امتصاص الغاز على سطح الركيزة والطبقة الملوثة، ولكن أيضًا لإزالة أكاسيد سطح الركيزة. يمكن أن يكون سبب القصف الأيوني للتسخين والعيوب هو تأثير الانتشار المعزز للركيزة، سواء لتحسين الخصائص البلورية لتنظيم طبقة سطح الركيزة، ولكن أيضًا يوفر الظروف لتكوين مراحل السبائك؛ وقصف أيوني عالي الطاقة، ولكنه ينتج أيضًا قدرًا معينًا من تأثير زرع الأيونات وخلط شعاع الأيونات.
② طلاء الأيونات بسبب إنتاج إشعاع تجاوز جيد في حالة الضغط العالي (أكبر من أو يساوي 1 باسكال) هو أيونات الأبخرة أو الجزيئات المؤينة في رحلتها إلى الركيزة قبل أن تواجه جزيئات الغاز عددًا من الاصطدامات، وبالتالي يمكن تشتيت جزيئات الفيلم حول الركيزة، وبالتالي تحسين تغطية طبقة الفيلم؛ كما سيتم ترسيب جزيئات الفيلم المؤينة تحت تأثير المجال الكهربائي على سطح الركيزة بجهد سلبي أي موضع على سطح الركيزة بجهد سلبي، والذي لا يمكن تحقيقه عن طريق الطلاء بالتبخير.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ١٢ يناير ٢٠٢٤