① Ion beam የታገዘ የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ በፊልም እና በንጥረቱ መካከል ባለው ጠንካራ ተጣብቆ ተለይቶ ይታወቃል ፣ የፊልም ንብርብር በጣም ጠንካራ ነው። ሙከራዎች እንደሚያሳዩት: ion ጨረር የታገዘ የሙቀት ትነት ክምችት ከመገጣጠም ይልቅ ለብዙ ጊዜ በመቶዎች ለሚቆጠሩ ጊዜያት ጨምሯል, ምክንያቱ በአብዛኛው በንጽህና ተፅእኖ ላይ ባለው የ ion bombardment ምክንያት ነው, ስለዚህም የ ገለፈት ቤዝ በይነገጽ የግራዲየንት interfacial መዋቅር, ወይም ድብልቅ የሽግግር ንብርብር ለመመስረት, እንዲሁም የሽፋኑን ውጥረት ለመቀነስ.
② ion ጨረር የታገዘ ማስቀመጫ የፊልም ሜካኒካል ባህሪያትን ያሻሽላል ፣ የድካም ህይወትን ያራዝመዋል ፣ ለኦክሳይድ ፣ ካርቦይድ ፣ ኪዩቢክ ቢኤን ፣ ቲቢ እና አልማዝ-መሰል ሽፋኖችን ለማዘጋጀት በጣም ተስማሚ። ለምሳሌ ያህል, 1Crl8Ni9Ti ሙቀት-የሚቋቋም ብረት ውስጥ 200nm ሲን ለማደግ አዮን ጨረር-የታገዘ የተቀማጭ ቴክኖሎጂ አጠቃቀም ላይ, ቀጭን ፊልም, ብቻ ሳይሆን ቁሳዊ ላይ ላዩን ድካም ስንጥቅ ብቅ ሊገታ ይችላል, ነገር ግን ደግሞ ጉልህ ድካም ስንጥቅ ስርጭት መጠን ሊቀንስ ይችላል, ሕይወቱን ለማራዘም ጥሩ ሚና አለው.
③ Ion beam የታገዘ ማስቀመጫ የፊልሙን የጭንቀት ባህሪ ሊለውጥ እና ክሪስታል አወቃቀሩ ሊለወጥ ይችላል። ለምሳሌ ፣ የ Cr ፊልም በ 11.5keV Xe + ወይም Ar + የቦምብ ንጣፍ ንጣፍ ማዘጋጀት ፣ የ substrate የሙቀት ማስተካከያ ፣ የቦምብ ion ኢነርጂ ፣ ion እና አቶም መምጣት ሬሾ እና ሌሎች መመዘኛዎች ፣ ውጥረትን ከመሸከም ወደ መጭመቂያ ውጥረት ሊያመጣ ይችላል ፣ የፊልሙ ክሪስታል መዋቅር ለውጦችን ያመጣል ። በተወሰነ የ ions እና አቶሞች ሬሾ ስር፣ የ ion beam አጋዥ አቀማመጥ በሙቀት ትነት ክምችት ከተቀመጠው የሜምቦል ሽፋን የተሻለ የመምረጥ አቅጣጫ አለው።
④ Ion beam የታገዘ ማስቀመጫ የሽፋኑን የዝገት መቋቋም እና ኦክሳይድ መቋቋምን ሊያሳድግ ይችላል። የ ገለፈት ንብርብር ጥቅጥቅ ጥቅጥቅ ያለ, ገለፈት ቤዝ በይነገጽ መዋቅር ማሻሻያ ወይም amorphous ሁኔታ ምስረታ ወደ ቅንጣቶች መካከል ያለውን የእህል ወሰን መጥፋት ምክንያት amorphous ሁኔታ ምስረታ, ይህም ዝገት የመቋቋም እና ቁሳዊ ያለውን oxidation የመቋቋም ያለውን ማበልጸጊያ ነው.
የቁሳቁስን የዝገት መቋቋምን ያሳድጉ እና የከፍተኛ ሙቀት ኦክሳይድ ውጤትን ይቃወማሉ።
(5) Ion beam የታገዘ ማስቀመጫ የፊልሙን ኤሌክትሮማግኔቲክ ባህሪያት ሊለውጥ እና የኦፕቲካል ስስ ፊልሞችን አፈጻጸም ሊያሻሽል ይችላል። (6) በአዮን የታገዘ ማስቀመጫ የተለያዩ ቀጫጭን ፊልሞችን በዝቅተኛ የሙቀት መጠን እንዲያሳድጉ ያስችላል እና በከፍተኛ የሙቀት መጠን ህክምና ሊያስከትሉ ከሚችሉት ቁሳቁሶች ወይም ትክክለኛ ክፍሎች ላይ አሉታዊ ተፅእኖዎችን ያስወግዳል ፣ ምክንያቱም ከአቶሚክ ክምችት እና ion መትከል ጋር የተዛመዱ መለኪያዎች በትክክል እና በተናጥል ሊስተካከሉ ስለሚችሉ እና ጥቂት የማይክሮሜትሮች ወጥነት ያለው ጥንቅር ያለው ሽፋን ያለማቋረጥ በዝቅተኛ ቦምብ ሊፈጠር ይችላል።
የልጥፍ ጊዜ: ማር-07-2024