1, Püskürtme örtüginiň aýratynlyklary
Adaty wakuum buharlandyrma örtügi bilen deňeşdirilende, püskürtme örtüginiň aşakdaky aýratynlyklary bar:
(1) Islendik maddany, esasanam ýokary ereme temperaturasyny, pes bug basyşyny öz içine alýan elementleri we birleşmeleri sepip bolýar. Gaty jisim bolsa, metal, ýarymgeçiriji, izolýator, birleşme we garyndy we ş.m., blok bolsa-da, granulaly material nyşana material hökmünde ulanylyp bilner. Izolýasiýa materiallaryny we oksidler ýaly erginleri sepende az parçalanma we fraksiýa ýüze çykýandygy sebäpli, olar nyşana materialynyňky ýaly birmeňzeş komponentleri bolan inçe plýonkalary we ergin plýonkalaryny, hatda çylşyrymly düzümleri bolan aşa geçiriji plýonkalary taýýarlamak üçin ulanylyp bilner. Mundan başga-da, reaktiw sepmek usuly nyşana materialyndan düýbünden tapawutly birleşmeleriň, mysal üçin oksidler, nitridler, karbidler we silisidleriň plýonkalaryny öndürmek üçin hem ulanylyp bilner.
(2) Püskürtülen plýonka bilen substratyň arasyndaky gowy ýelmeşme. Püskürtülen atomlaryň energiýasy bugarylan atomlaryň energiýasyndan 1-2 esse ýokary bolany üçin, substrata ýerleşdirilen ýokary energiýaly bölejikleriň energiýa öwrülmegi has ýokary ýylylyk energiýasyny döredýär, bu bolsa püskürtülen atomlaryň substrata ýelmeşmegini güýçlendirýär. Ýokary energiýaly püskürtülen atomlaryň bir bölegi dürli derejelerde inýeksiýa edilip, substratda püskürtülen atomlaryň we substrat materialynyň atomlarynyň biri-biri bilen "garyşýan" psewdodiffuziýa gatlagyny emele getirýär. Mundan başga-da, püskürtülen bölejikleriň bombardman edilmegi wagtynda substrat hemişe arassalanýar we plazma zolagynda işjeňleşdirilýär, bu bolsa ýaramaz ýelmeşýän çökündi atomlary aýyrýar, substratyň ýüzüni arassalaýar we işjeňleşdirýär. Netijede, püskürtülen plýonka gatlagynyň substrata ýelmeşmegi ep-esli ýokarlanýar.
(3) Püskürtme örtüginiň ýokary dykyzlygy, az deşikli deşikler we plýonka gatlagynyň has arassalygy, sebäbi tigel hapalanmasy ýok, bu bolsa püskürtme örtügi prosesinde wakuum bug çökündisinde gaça durup bolmaýar.
(4) Plenkanyň galyňlygynyň gowy dolandyrylmagy we gaýtalanmagy. Püskürtme bilen örtülende boşalma tokuny we nyşana tokuny aýratynlykda dolandyryp bolýandygy sebäpli, plyonkanyň galyňlygyny nyşana tokuny dolandyrmak arkaly dolandyryp bolýar, şonuň üçin plyonkanyň galyňlygynyň dolandyrylmagy we püskürtme bilen örtülen köp sanly püskürtme arkaly plyonkanyň galyňlygynyň gaýtalanmagy gowy we öňünden kesgitlenen galyňlykdaky plyonka netijeli örtülip bilner. Mundan başga-da, püskürtme bilen örtülmek uly meýdanda birmeňzeş plyonka galyňlygyny alyp biler. Şeýle-de bolsa, umumy püskürtme bilen örtülme tehnologiýasy üçin (esasan dipol püskürtme) enjamlar çylşyrymly we ýokary basyşly enjamy talap edýär; püskürtme bilen çökmegiň plyonka emele gelme tizligi pes, wakuum buharlanma çökme tizligi 0,1 ~ 5nm / min, püskürtme tizligi bolsa 0,01 ~ 0,5nm / min; Substratyň temperaturasynyň ýokarlanmagy ýokary we garyndy gaza we ş.m. täsir edýär. Şeýle-de bolsa, RF püskürtme we magnetron püskürtme tehnologiýasynyň ösmegi sebäpli, çalt püskürtme çökündisini gazanmakda we substratyň temperaturasyny peseltmekde uly öňegidişlikler gazanyldy. Mundan başga-da, soňky ýyllarda püskürtme howa basyşyny nol basyşly püskürtme derejesine çenli azaltmak üçin tekiz magnitron püskürtme esasynda täze püskürtme örtük usullary öwrenilýär, bu bolsa püskürtme wagtynda kabul edilýän gazyň basyşy nol boljak nol basyşly püskürtme derejesine çenli azaltmaga mümkinçilik berýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 8-nji noýabry