1, Awọn ẹya ara ẹrọ ti a bo sputter
Ti a bawe pẹlu ideri igbale igbale ibile, ideri sputtering ni awọn ẹya wọnyi:
(1) Ohunkóhun lè jẹ́ ìfọ́nká, pàápàá jùlọ ibi yíyọ́ gíga, àwọn èròjà ìfúnpá afẹ́fẹ́ kékeré àti àwọn èròjà ìfọ́nká. Níwọ́n ìgbà tí ó bá jẹ́ ohun líle, yálà ó jẹ́ irin, semiconductor, insulator, compound àti adalu, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, yálà ó jẹ́ bulọọki, ohun èlò granular lè jẹ́ ohun èlò ìfọ́nká. Níwọ́n ìgbà tí ìfọ́nká àti ìpín díẹ̀ bá ń wáyé nígbà tí a bá ń fi àwọn ohun èlò ìfọ́nká àti àwọn alloy bíi oxides, a lè lò wọ́n láti pèsè àwọn fíìmù tín-tín àti àwọn fíìmù alloy pẹ̀lú àwọn èròjà tí ó jọra sí àwọn ohun èlò ìfọ́nká, àti àwọn fíìmù superconducting pẹ̀lú àwọn èròjà ìdàgbàsókè. Ní àfikún, a lè lo ọ̀nà ìfọ́nká reactive sputtering láti ṣe àwọn fíìmù ti àwọn èròjà tí ó yàtọ̀ pátápátá sí ohun èlò ìfọ́nká, bíi oxides, nitrides, carbide àti silicide.
(2) Ìsopọ̀ tó dára láàárín fíìmù tí a fi omi bò àti ohun èlò ìpìlẹ̀. Nítorí pé agbára àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ tó ti gbóná jẹ́ ìpele 1-2 tó ga ju ti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ tó ti gbóná lọ, ìyípadà agbára àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ tó ti gbóná tó wà lórí ohun èlò ìpìlẹ̀ náà máa ń mú kí agbára ooru tó ga jù, èyí tó máa ń mú kí ìsopọ̀ àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ tó ti gbóná pọ̀ sí ohun èlò ìpìlẹ̀ náà pọ̀ sí i. Apá kan lára àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ tó ti gbóná tó sì ní agbára gíga ni a ó fi sínú rẹ̀ sí oríṣiríṣi ìpele, èyí tó máa ń jẹ́ kí a mọ̀ pé ó ní ìpele ìfọ́mọ́ lórí ohun èlò ìpìlẹ̀ náà níbi tí àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ tó ti gbóná àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ náà ti “ń yí padà” sí ara wọn. Ní àfikún, nígbà tí a bá ń bọ́m̀bù àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ tó ti gbóná, a máa ń fọ ohun èlò ìpìlẹ̀ náà mọ́ ibi tí a ti ń lo omi, èyí tó máa ń mú kí àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ tó ti gbóná tó sì ń mú kí ohun èlò náà gbóná sí i. Nítorí náà, ìsopọ̀ fíìmù tó ti gbóná sí ohun èlò ìpìlẹ̀ náà túbọ̀ lágbára sí i.
(3) Ìwọ̀n gíga ti ìbòrí sputter, àwọn ihò kékeré díẹ̀, àti ìwẹ̀nùmọ́ gíga ti fẹlẹfẹlẹ fiimu náà nítorí pé kò sí ìbàjẹ́ afẹ́fẹ́, èyí tí a kò lè yẹ̀ sílẹ̀ nínú ìdúró afẹ́fẹ́ vacuum nígbà ilana ìbòrí sputter.
(4) Agbára ìdarí tó dára àti àtúnṣe sísanra fíìmù náà. Níwọ́n ìgbà tí a lè ṣàkóso ìṣàn omi àti ìṣàn omi tí a fẹ́ lọ síta nígbà tí a bá ń bò ó, a lè ṣàkóso sísanra fíìmù náà nípa ṣíṣàkóso sísanra fíìmù náà, nítorí náà, agbára ìdarí sísanra fíìmù náà àti àtúnṣe sísanra fíìmù náà nípa lílo ìṣàn omi púpọ̀ dára, a sì lè bò fíìmù tí a ti pinnu tẹ́lẹ̀ dáadáa. Ní àfikún, ìbòrí sísanra fíìmù náà lè ní sísanra fíìmù kan náà lórí agbègbè ńlá kan. Síbẹ̀síbẹ̀, fún ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí sísanra fíìmù gbogbogbòò (ní pàtàkì ìgbóná dípòlé), ohun èlò náà díjú, ó sì nílò ẹ̀rọ ìfúnpá gíga; iyára ìṣẹ̀dá fíìmù ti ìbòrí sísanra fíìmù náà kéré, iyára ìgbóná fíìmù náà jẹ́ 0.1~5nm/min, nígbà tí iyára sísanra fíìmù náà jẹ́ 0.01~0.5nm/min; iyára sísanra fíìmù náà ga, ó sì lè farapa sí gaasi àìmọ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Ṣùgbọ́n, nítorí ìdàgbàsókè RF sputtering àti ìmọ̀ ẹ̀rọ magnetron sputtering, a ti ní ìlọsíwájú ńlá ní ṣíṣe àṣeyọrí sísanra sísanra àti dín iyára sísanra fíìmù náà kù. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, a ń ṣe ìwádìí lórí àwọn ọ̀nà ìbòrí sputter tuntun - tí a gbé kalẹ̀ lórí ìgbóná magnetron planar - láti dín ìfúnpá afẹ́fẹ́ sputtering kù títí di ìgbà tí ìfúnpá òdo bá ti gbó níbi tí ìfúnpá gáàsì gbígbà nígbà ìfúnpá kò ní jẹ́ òdo.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-08-2022