1, Likarolo tsa ho roala ka sputter
Ha ho bapisoa le seaparo sa mouoane se tloaelehileng sa lephaka, ho roala ho sputtering ho na le likarolo tse latelang:
(1) Ntho efe kapa efe e ka qhalana, haholo-holo ntlha e phahameng ea ho qhibiliha, likarolo tse nang le khatello e tlase ea mouoane le metsoako. Hafeela e le ntho e tiileng, ebang ke tšepe, semiconductor, insulator, motsoako le motsoako, jj., ebang ke boloko, thepa ea granular e ka sebelisoa e le thepa ea sepheo. Kaha ho senyeha le ho aroloa ho fokolang ho etsahala ha ho qhalana thepa ea ho thibela le metsoako e kang li-oxide, li ka sebelisoa ho lokisa lifilimi tse tšesaane le lifilimi tsa motsoako tse nang le likarolo tse tšoanang tse tšoanang le tsa thepa ea sepheo, esita le lifilimi tse tsamaisang lintho tse ngata tse nang le metsoako e rarahaneng. Ho phaella moo, mokhoa oa ho qhalana o arabelang o ka boela oa sebelisoa ho hlahisa lifilimi tsa metsoako e fapaneng ka ho feletseng le thepa ea sepheo, joalo ka li-oxide, nitrides, carbides le silicides.
(2) Ho khomarela hantle pakeng tsa filimi e tšolotsoeng le substrate. Kaha matla a liathomo tse tšolotsoeng a phahame ka makhetlo a 1-2 ho feta a liathomo tse mouoane, phetoho ea matla a likaroloana tse nang le matla a mangata tse behiloeng holim'a substrate e hlahisa matla a phahameng a mocheso, e leng se ntlafatsang ho khomarela ha liathomo tse tšolotsoeng ho substrate. Karolo ea liathomo tse tšolotsoeng tse nang le matla a mangata e tla kenngoa ka tekanyo e fapaneng, e leng se bitsoang lera la pseudo-diffusion holim'a substrate moo liathomo tse tšolotsoeng le liathomo tsa thepa ea substrate li "kopanang" hammoho. Ho phaella moo, nakong ea ho phatloha ha likaroloana tse tšolotsoeng, substrate e lula e hloekisoa le ho kenngoa tšebetsong sebakeng sa plasma, e leng se tlosang liathomo tse sa khomareloang hantle, se hloekisang le ho kenya tšebetsong bokaholimo ba substrate. Ka lebaka leo, ho khomarela ha lera la filimi e tšolotsoeng ho substrate ho matlafatsoa haholo.
(3) Ho ba le sekoahelo se phahameng sa sputter, masoba a fokolang, le bohloeki bo phahameng ba lera la filimi hobane ha ho na tšilafalo e ka qojoang, e leng ntho e ke keng ea qojoa ha mouoane oa vacuum nakong ea ts'ebetso ea ho koahela sputter.
(4) Ho laola le ho pheta-pheta ha botenya ba filimi hantle. Kaha hona joale ho ntsha metsi le hona joale ho ka laolwa ka thoko nakong ya ho roala ka sputter, botenya ba filimi bo ka laolwa ka ho laola hona joale ho shebiloeng, ka hona, ho laola botenya ba filimi le ho ikatisa ha botenya ba filimi ka ho sputter ka makhetlo a mangata ho hotle, 'me filimi ea botenya bo reriloeng esale pele e ka koaheloa ka katleho. Ho phaella moo, ho roala ka sputter ho ka fumana botenya ba filimi bo lekanang sebakeng se seholo. Leha ho le joalo, bakeng sa theknoloji e akaretsang ea ho roala ka sputter (haholo-holo dipole sputtering), lisebelisoa li rarahane 'me li hloka sesebelisoa sa khatello e phahameng; lebelo la ho thehoa ha filimi la ho roala ka sputter le tlaase, sekhahla sa ho roala ka vacuum evaporation ke 0.1 ~ 5nm/min, ha sekhahla sa ho sputtering e le 0.01 ~ 0.5nm/min; ho phahama ha mocheso oa substrate ho phahame 'me ho kotsing ea khase e litšila, jj. Leha ho le joalo, ka lebaka la nts'etsopele ea theknoloji ea sputtering ea RF le sputtering ea magnetron, ho fumanoe tsoelo-pele e kholo ho fihlelleng ho roala ka potlako le ho fokotsa mocheso oa substrate. Ho feta moo, lilemong tsa morao tjena, mekhoa e mecha ea ho koahela sputter e ntse e fuputsoa - e ipapisitse le sputtering ea planar magnetron - ho fokotsa khatello ea moea e sputtering ho fihlela e sputtering ea lefela moo khatello ea khase e kenang nakong ea sputtering e tla ba lefela.
Nako ea poso: Pulungoana-08-2022