1. លក្ខណៈពិសេសនៃថ្នាំកូត sputter
បើប្រៀបធៀបជាមួយថ្នាំកូតហួតដោយបូមធូលីធម្មតា ថ្នាំកូតបាញ់ទឹកមានលក្ខណៈពិសេសដូចខាងក្រោម៖
(1) សារធាតុណាមួយអាចត្រូវបានបាញ់ចេញ ជាពិសេសធាតុ និងសមាសធាតុដែលមានចំណុចរលាយខ្ពស់ សម្ពាធចំហាយទាប។ ដរាបណាវាជាសារធាតុរឹង មិនថាវាជាលោហៈ ស៊ីមីកុងដុកទ័រ អ៊ីសូឡង់ សមាសធាតុ និងល្បាយជាដើម មិនថាវាជាប្លុកទេ សម្ភារៈគ្រាប់អាចត្រូវបានប្រើជាសម្ភារៈគោលដៅ។ ដោយសារតែការរលួយ និងការប្រភាគតិចតួចកើតឡើងនៅពេលបាញ់ចេញសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ និងយ៉ាន់ស្ព័រដូចជាអុកស៊ីដ ពួកវាអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្តស្តើង និងខ្សែភាពយន្តយ៉ាន់ស្ព័រដែលមានសមាសធាតុឯកសណ្ឋានស្រដៀងគ្នាទៅនឹងសម្ភារៈគោលដៅ និងសូម្បីតែខ្សែភាពយន្តដែលមានសមាសធាតុស្មុគស្មាញ។ លើសពីនេះ វិធីសាស្ត្របាញ់ចេញប្រតិកម្មក៏អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតខ្សែភាពយន្តនៃសមាសធាតុខុសគ្នាទាំងស្រុងពីសម្ភារៈគោលដៅ ដូចជាអុកស៊ីដ នីទ្រីដ កាបូអ៊ីដ និងស៊ីលីស៊ីដ។
(2) ភាពស្អិតល្អរវាងខ្សែភាពយន្តដែលរលាយ និងស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដោយសារថាមពលនៃអាតូមដែលរលាយមានកម្រិតខ្ពស់ជាងអាតូមហួត 1-2 លំដាប់នៃការរ៉ិចទ័រ ការបំប្លែងថាមពលនៃភាគល្អិតថាមពលខ្ពស់ដែលដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោមបង្កើតថាមពលកម្ដៅខ្ពស់ជាង ដែលបង្កើនភាពស្អិតនៃអាតូមដែលរលាយទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម។ ផ្នែកមួយនៃអាតូមដែលរលាយថាមពលខ្ពស់នឹងត្រូវបានចាក់បញ្ចូលក្នុងកម្រិតផ្សេងៗគ្នា បង្កើតជាស្រទាប់សាយភាយក្លែងក្លាយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលអាតូមដែលរលាយ និងអាតូមនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម "អាចលាយបញ្ចូលគ្នាបាន"។ លើសពីនេះ ក្នុងអំឡុងពេលនៃការទម្លាក់គ្រាប់បែកនៃភាគល្អិតដែលរលាយ ស្រទាប់ខាងក្រោមតែងតែត្រូវបានសម្អាត និងធ្វើឱ្យសកម្មនៅក្នុងតំបន់ប្លាស្មា ដែលយកអាតូមដែលធ្លាក់មកស្អិតមិនល្អចេញ បន្សុទ្ធ និងធ្វើឱ្យផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមសកម្ម។ ជាលទ្ធផល ភាពស្អិតនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលរលាយទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានបង្កើនយ៉ាងខ្លាំង។
(3) ដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៃថ្នាំកូត sputter រន្ធតូចៗតិចជាង និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត ពីព្រោះមិនមានការបំពុលដែលអាចជៀសវាងបាននៅក្នុងការដាក់ចំហាយទឹកក្នុងសុញ្ញកាសក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការថ្នាំកូត sputter។
(4) ការគ្រប់គ្រងបានល្អ និងអាចធ្វើម្តងទៀតបាននៃកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត។ ដោយសារតែចរន្តបញ្ចេញ និងចរន្តគោលដៅអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយឡែកពីគ្នាក្នុងអំឡុងពេលថ្នាំកូត sputter កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយការគ្រប់គ្រងចរន្តគោលដៅ ដូច្នេះ ការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត និងការបង្កើតឡើងវិញនៃកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដោយការ sputtering ច្រើនដងនៃថ្នាំកូត sputter គឺល្អ ហើយខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្រាស់កំណត់ទុកជាមុនអាចត្រូវបានស្រោបយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ លើសពីនេះ ថ្នាំកូត sputter អាចទទួលបានកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋានលើផ្ទៃធំមួយ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ សម្រាប់បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត sputter ទូទៅ (ជាចម្បង sputtering dipole) ឧបករណ៍មានភាពស្មុគស្មាញ និងត្រូវការឧបករណ៍សម្ពាធខ្ពស់។ ល្បឿនបង្កើតខ្សែភាពយន្តនៃការដាក់ sputter គឺទាប អត្រាដាក់ហួតក្នុងសុញ្ញากาศគឺ 0.1~5nm/នាទី ខណៈពេលដែលអត្រា sputtering គឺ 0.01~0.5nm/នាទី; ការកើនឡើងសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមគឺខ្ពស់ និងងាយរងគ្រោះដោយឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធ។ល។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ដោយសារតែការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យា sputtering RF និង magnetron sputtering វឌ្ឍនភាពដ៏អស្ចារ្យត្រូវបានទទួលក្នុងការសម្រេចបាននូវការដាក់ sputtering លឿន និងកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោម។ លើសពីនេះទៅទៀត ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ វិធីសាស្ត្រថ្នាំកូត sputter ថ្មីៗកំពុងត្រូវបានស៊ើបអង្កេត - ដោយផ្អែកលើការ sputtering magnetron planar - ដើម្បីកាត់បន្ថយសម្ពាធខ្យល់ sputtering រហូតដល់ sputtering សម្ពាធសូន្យ ដែលសម្ពាធនៃឧស្ម័នចូលក្នុងអំឡុងពេល sputtering នឹងមានសូន្យ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែវិច្ឆិកា-០៨-២០២២