1, Хусусиятҳои пӯшиши пошидани
Дар муқоиса бо пӯшиши анъанавии бухоршавии вакуумӣ, пӯшиши пошидани дорои хусусиятҳои зерин мебошад:
(1) Ҳар гуна моддаро, бахусус унсурҳо ва пайвастагиҳои дорои нуқтаи баланди обшавӣ, фишори пасти буғро пошидан мумкин аст. То он даме, ки он ҷисми сахт бошад, хоҳ металл, нимноқил, изолятор, пайвастагӣ ва омехта ва ғайра бошад, хоҳ блок бошад, маводи донадорро ҳамчун маводи мақсаднок истифода бурдан мумкин аст. Азбаски ҳангоми пошидани маводҳои изолятсия ва хӯлаҳо, ба монанди оксидҳо, таҷзия ва фраксия кам ба амал меояд, онҳоро барои тайёр кардани плёнкаҳои тунук ва плёнкаҳои хӯла бо ҷузъҳои якхела ба маводи мақсаднок монанд ва ҳатто плёнкаҳои фавқуттабиӣ бо таркибҳои мураккаб истифода бурдан мумкин аст.' Илова бар ин, усули пошидани реактивӣ инчунин метавонад барои истеҳсоли плёнкаҳои пайвастагиҳои комилан фарқкунанда аз маводи мақсаднок, ба монанди оксидҳо, нитридҳо, карбидҳо ва силикидҳо истифода шавад.
(2) Часпиши хуб байни плёнкаи пошидашуда ва субстрат. Азбаски энергияи атомҳои пошидашуда 1-2 дараҷа аз энергияи атомҳои бухоршуда зиёдтар аст, табдили энергияи зарраҳои энергияи баланд, ки дар субстрат ҷойгир шудаанд, энергияи гармии баландтарро ба вуҷуд меорад, ки часпиши атомҳои пошидашударо ба субстрат беҳтар мекунад. Як қисми атомҳои пошидашудаи энергияи баланд ба дараҷаҳои гуногун ворид карда мешаванд ва дар субстрат қабати псевдодиффузияро ташкил медиҳанд, ки дар он атомҳои пошидашуда ва атомҳои маводи субстрат бо ҳамдигар "омехта" мешаванд. Илова бар ин, ҳангоми бомбаборон кардани зарраҳои пошидашуда, субстрат ҳамеша дар минтақаи плазма тоза ва фаъол мешавад, ки атомҳои часпидашудаи сустро хориҷ мекунад, сатҳи субстратро тоза ва фаъол мекунад. Дар натиҷа, часпиши қабати плёнкаи пошидашуда ба субстрат хеле беҳтар мешавад.
(3) Зичии баланди рӯйпӯши пошидан, сӯрохиҳои камтар ва тозагии баланди қабати плёнка, зеро ифлосшавии тигелӣ вуҷуд надорад, ки ҳангоми таҳшиншавии буғи вакуумӣ ҳангоми раванди рӯйпӯшкунии пошидан ногузир аст.
(4) Идоракунии хуб ва такроршавандагии ғафсии плёнка. Азбаски ҷараёни холӣ ва ҷараёни мақсаднокро ҳангоми пӯшонидани пош ... Баландшавии ҳарорати субстрат баланд буда, ба гази ифлос ва ғайра осебпазир аст. Аммо, бо сабаби рушди пошидани радиои RF ва технологияи пошидани магнетронӣ, дар ноил шудан ба таҳшиншавии зуди пошидани радиои RF ва паст кардани ҳарорати субстрат пешрафтҳои бузург ба даст оварда шудаанд. Ғайр аз ин, дар солҳои охир, усулҳои нави пӯшонидани пошидани радиои RF таҳқиқ карда мешаванд - ки бар пошидани радиои ҳамвори магнетронии ҳамвор асос ёфтаанд - то фишори ҳавои пошидани радиои RF то пошидани радиои сифр, ки дар он фишори гази вуруд ҳангоми пошидани радиои RF сифр хоҳад буд, ба ҳадди ақал расонида шавад.
Вақти нашр: 08 ноябри соли 2022