የስፕተርንግ ሽፋን ቴክኖሎጂ

1, የ sputter ሽፋን ባህሪያት
ከተለመደው የቫክዩም ትነት ሽፋን ጋር ሲነፃፀር የስፕቱተር ሽፋን የሚከተሉትን ባህሪያት አሉት፡
(1) ማንኛውም ንጥረ ነገር በተለይም ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ፣ ዝቅተኛ የእንፋሎት ግፊት ንጥረ ነገሮች እና ውህዶች ሊተፋ ይችላል። ጠንካራ እስከሆነ ድረስ፣ ብረት፣ ሴሚኮንዳክተር፣ ኢንሱሌተር፣ ውህድ እና ድብልቅ፣ ወዘተ፣ ብሎክ ቢሆንም፣ የጥራጥሬ ቁሳቁስ እንደ ኢላማ ቁሳቁስ ሊያገለግል ይችላል። እንደ ኦክሳይድ ያሉ የኢንሱሌተር ቁሳቁሶችን እና ቅይጥዎችን ሲተፋ ትንሽ መበስበስ እና ክፍልፋይ ስለሚከሰት፣ ከዒላማው ቁሳቁስ ጋር ተመሳሳይ የሆኑ ተመሳሳይ ክፍሎች ያሏቸው ቀጭን ፊልሞችን እና ቅይጥ ፊልሞችን ለማዘጋጀት እና ውስብስብ ውህዶች ያሏቸው ሱፐርኮንዳክቲቭ ፊልሞችን ለማዘጋጀት ሊያገለግሉ ይችላሉ። በተጨማሪም፣ ምላሽ ሰጪ የስፕተር ዘዴ እንደ ኦክሳይድ፣ ናይትሬድ፣ ካርቦይድ እና ሲሊሳይድስ ያሉ ከዒላማው ቁሳቁስ ሙሉ በሙሉ የተለዩ ውህዶችን ፊልሞች ለማምረት ሊያገለግል ይችላል።
(2) በተሰነጠቀው ፊልም እና በንጣፉ መካከል ጥሩ ማጣበቂያ። የተሰነጠቁ አቶሞች ኃይል ከተተነፈሱ አቶሞች በ1-2 ቅደም ተከተሎች ከፍ ያለ ስለሆነ፣ በንጣፉ ላይ የተቀመጡት ከፍተኛ ኃይል ያላቸው ቅንጣቶች የኃይል ልወጣ ከፍተኛ የሙቀት ኃይል ይፈጥራል፣ ይህም የተሰነጠቁ አቶሞችን ከንጣፉ ጋር ማጣበቂያን ያሻሽላል። ከፍተኛ ኃይል ያላቸው የተሰነጠቁ አቶሞች ክፍል በተለያዩ ደረጃዎች ይወጋሉ፣ የተሰነጠቁ አቶሞች እና የንጣፉ ቁሳቁስ አቶሞች እርስ በእርስ "ሊለዋወጡ" የሚችሉበት በንጣፉ ላይ የውሸት ስርጭት ንብርብር ይፈጥራል። በተጨማሪም፣ የተሰነጠቁ ቅንጣቶች በሚፈነዱበት ጊዜ፣ ንጣፉ ሁልጊዜ በፕላዝማ ዞን ውስጥ ይጸዳል እና ይነቃቃል፣ ይህም በደንብ ያልተጣበቁ የተፈጠሩ አቶሞችን ያስወግዳል፣ የንጣፉ ወለልን ያጸዳል እና ያነቃቃል። በዚህም ምክንያት የተሰነጠቀው የፊልም ንብርብር ከንጣፉ ጋር ማጣበቂያ በጣም ይሻሻላል።
(3) ከፍተኛ የስፕተር ሽፋን ጥግግት፣ የፒንሆል ቀዳዳዎች መቀነስ እና የፊልም ንብርብር ከፍተኛ ንፅህና ምክንያቱም የመስቀያ ብክለት የለም፣ ይህም በቫክዩም ትነት ክምችት ወቅት በቫክዩም ትነት ክምችት ውስጥ የማይቀር ነው።
(4) የፊልም ውፍረት ጥሩ የቁጥጥር እና የመደጋገም ችሎታ። የሚወጣው ፍሰት እና የዒላማው ፍሰት በስፕተር ሽፋን ወቅት በተናጥል ሊቆጣጠሩ ስለሚችሉ፣ የፊልም ውፍረት የታለመውን ፍሰት በመቆጣጠር ሊቆጣጠር ይችላል፣ ስለዚህ የፊልም ውፍረት መቆጣጠሪያ እና የፊልም ውፍረት በበርካታ የስፕተር ሽፋን ስፕተር ጥሩ ናቸው፣ እና የተወሰነ ውፍረት ያለው ፊልም በብቃት ሊሸፈን ይችላል። በተጨማሪም የስፕተር ሽፋን በትልቅ ቦታ ላይ ወጥ የሆነ የፊልም ውፍረት ማግኘት ይችላል። ሆኖም፣ ለአጠቃላይ የስፕተር ሽፋን ቴክኖሎጂ (በዋነኝነት ዲፖል ስፕተር)፣ መሳሪያው ውስብስብ እና ከፍተኛ ግፊት ያለው መሳሪያ ይፈልጋል፤ የስፕተር ክምችት የፊልም ምስረታ ፍጥነት ዝቅተኛ ነው፣ የቫክዩም ትነት ክምችት መጠን 0.1~5nm/ደቂቃ ሲሆን የስፕተር ፍጥነት 0.01~0.5nm/ደቂቃ ነው፤ የንጣፍ ሙቀት መጨመር ከፍተኛ እና ለርኩሰት ጋዝ ተጋላጭ ነው፣ ወዘተ። ሆኖም፣ በRF ስፕተር እና ማግኔትሮን ስፕተርንግ ቴክኖሎጂ እድገት ምክንያት፣ ፈጣን የስፕተር ክምችት ለማሳካት እና የንጣፍ ሙቀትን ለመቀነስ ከፍተኛ እድገት ተገኝቷል። ከዚህም በላይ፣ በቅርብ ዓመታት ውስጥ፣ የሚተነፍሰውን የአየር ግፊት ለመቀነስ - በፕላነር ማግኔትሮን ስፒተርንግ ላይ በመመስረት - አዳዲስ የስፒተር ሽፋን ዘዴዎች እየተመረመሩ ነው - ይህም በሚተነፍሰው ጊዜ የሚወጣው የጋዝ ግፊት ዜሮ እስኪሆን ድረስ የሚተነፍሰውን የአየር ግፊት ለመቀነስ ነው።