স্পাটারিং কোটিং প্রযুক্তি

১. স্পাটার কোটিং-এর বৈশিষ্ট্য
প্রচলিত ভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন কোটিং-এর তুলনায় স্পাটারিং কোটিং-এর নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য রয়েছেঃ
(1) যেকোনো পদার্থকে স্পাটারিং করা যেতে পারে, বিশেষ করে উচ্চ গলনাঙ্ক এবং কম বাষ্পচাপযুক্ত মৌল এবং যৌগসমূহকে। যতক্ষণ এটি কঠিন থাকে, তা ধাতু, অর্ধপরিবাহী, অন্তরক, যৌগ এবং মিশ্রণ ইত্যাদি যা-ই হোক না কেন, ব্লক বা দানাদার পদার্থকে টার্গেট উপাদান হিসেবে ব্যবহার করা যেতে পারে। যেহেতু অক্সাইডের মতো অন্তরক পদার্থ এবং সংকর ধাতু স্পাটারিং করার সময় সামান্য বিয়োজন এবং বিভাজন ঘটে, তাই এগুলি ব্যবহার করে টার্গেট উপাদানের মতো অভিন্ন উপাদানযুক্ত পাতলা ফিল্ম এবং সংকর ফিল্ম, এমনকি জটিল গঠনযুক্ত অতিপরিবাহী ফিল্মও তৈরি করা যেতে পারে। এছাড়াও, প্রতিক্রিয়াশীল স্পাটারিং পদ্ধতিটি টার্গেট উপাদান থেকে সম্পূর্ণ ভিন্ন যৌগ, যেমন অক্সাইড, নাইট্রাইড, কার্বাইড এবং সিলিডাইডের ফিল্ম তৈরি করতেও ব্যবহার করা যেতে পারে।
(2) স্পাটার্ড ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে ভালো আনুগত্য। যেহেতু স্পাটার্ড পরমাণুগুলির শক্তি বাষ্পীভূত পরমাণুগুলির শক্তির চেয়ে ১-২ মাত্রা বেশি, তাই সাবস্ট্রেটে জমা হওয়া উচ্চ-শক্তির কণাগুলির শক্তি রূপান্তর উচ্চতর তাপ শক্তি তৈরি করে, যা সাবস্ট্রেটের সাথে স্পাটার্ড পরমাণুগুলির আনুগত্য বৃদ্ধি করে। উচ্চ-শক্তির স্পাটার্ড পরমাণুগুলির একটি অংশ বিভিন্ন মাত্রায় প্রবেশ করে সাবস্ট্রেটের উপর একটি তথাকথিত ছদ্ম-ব্যাপন স্তর তৈরি করে যেখানে স্পাটার্ড পরমাণু এবং সাবস্ট্রেট উপাদানের পরমাণুগুলি একে অপরের সাথে "মিশ্রণযোগ্য" হয়। এছাড়াও, স্পাটারিং কণাগুলির বোমাবর্ষণের সময়, সাবস্ট্রেটটি সর্বদা প্লাজমা অঞ্চলে পরিষ্কার এবং সক্রিয় করা হয়, যা দুর্বলভাবে লেগে থাকা অধঃক্ষিপ্ত পরমাণুগুলিকে সরিয়ে দেয় এবং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠকে বিশুদ্ধ ও সক্রিয় করে। ফলস্বরূপ, সাবস্ট্রেটের সাথে স্পাটার্ড ফিল্ম স্তরের আনুগত্য ব্যাপকভাবে বৃদ্ধি পায়।
(3) স্পাটার কোটিং প্রক্রিয়ার সময় ক্রুসিবল দূষণ না থাকার কারণে স্পাটার কোটিং এর উচ্চ ঘনত্ব, কম পিনহোল এবং ফিল্ম স্তরের উচ্চতর বিশুদ্ধতা, যা ভ্যাকুয়াম ভেপার ডিপোজিশনে অনিবার্য।
(4) ফিল্মের পুরুত্বের ভালো নিয়ন্ত্রণযোগ্যতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা। যেহেতু স্পাটার কোটিং-এর সময় ডিসচার্জ কারেন্ট এবং টার্গেট কারেন্ট আলাদাভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যায়, তাই টার্গেট কারেন্ট নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে ফিল্মের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ করা যায়। ফলে, স্পাটার কোটিং-এর একাধিক স্পাটারিং-এর মাধ্যমে ফিল্মের পুরুত্বের নিয়ন্ত্রণযোগ্যতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ভালো হয় এবং পূর্বনির্ধারিত পুরুত্বের ফিল্ম কার্যকরভাবে লেপন করা যায়। এছাড়াও, স্পাটার কোটিং-এর মাধ্যমে একটি বৃহৎ এলাকা জুড়ে অভিন্ন পুরুত্বের ফিল্ম পাওয়া যায়। তবে, সাধারণ স্পাটার কোটিং প্রযুক্তির (প্রধানত ডাইপোল স্পাটারিং) ক্ষেত্রে, সরঞ্জামগুলি জটিল এবং উচ্চ চাপের ডিভাইসের প্রয়োজন হয়; স্পাটার ডিপোজিশনের ফিল্ম গঠনের গতি কম, ভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন ডিপোজিশন রেট ০.১~৫ ন্যানোমিটার/মিনিট, যেখানে স্পাটারিং রেট ০.০১~০.৫ ন্যানোমিটার/মিনিট; সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা বৃদ্ধি বেশি এবং এটি অপদ্রব্য গ্যাসের প্রতি সংবেদনশীল, ইত্যাদি। তবে, আরএফ স্পাটারিং এবং ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং প্রযুক্তির বিকাশের কারণে, দ্রুত স্পাটারিং ডিপোজিশন অর্জন এবং সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা হ্রাস করার ক্ষেত্রে ব্যাপক অগ্রগতি সাধিত হয়েছে। এছাড়াও, সাম্প্রতিক বছরগুলিতে প্ল্যানার ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং-এর উপর ভিত্তি করে নতুন স্পাটার কোটিং পদ্ধতি নিয়ে গবেষণা করা হচ্ছে, যার লক্ষ্য হলো স্পাটারিং বায়ুর চাপ কমিয়ে শূন্য-চাপ স্পাটারিং পর্যায়ে নিয়ে আসা, যেখানে স্পাটারিং চলাকালীন গৃহীত গ্যাসের চাপ শূন্য হবে।