ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା |

1 ut ସ୍ପଟର୍ ଆବରଣର ବ Features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ |
ପାରମ୍ପାରିକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଆବରଣ ସହିତ ତୁଳନା କଲେ, ସ୍ପୁଟର୍ ଆବରଣର ନିମ୍ନଲିଖିତ ବ features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ ଅଛି ：
(1) ଯେକ Any ଣସି ପଦାର୍ଥ ସ୍ପଟର୍ ହୋଇପାରେ, ବିଶେଷତ high ଉଚ୍ଚ ତରଳିବା ପଏଣ୍ଟ, କମ୍ ବାଷ୍ପ ଚାପ ଉପାଦାନ ଏବଂ ଯ ounds ଗିକ |ଯେପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଏହା ଏକ କଠିନ, ଏହା ଏକ ଧାତୁ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ଇନସୁଲେଟର, ଯ ound ଗିକ ଏବଂ ମିଶ୍ରଣ ଇତ୍ୟାଦି, ଏହା ଏକ ବ୍ଲକ ହେଉ, ଗ୍ରାନୁଲାର୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଏକ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ |ଯେହେତୁ ଅଳ୍ପ କ୍ଷୟ ଏବଂ ଭଗ୍ନାଂଶ ଇନସୁଲେଟିଂ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ପରି ଆଲୋଇସ୍ ସ୍ପଟର୍ କରିବା ସମୟରେ ଘଟେ, ସେଗୁଡିକ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଏବଂ ମିଶ୍ରିତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସହିତ ସମାନ ଉପାଦାନ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇପାରେ, ଏବଂ ଜଟିଳ ରଚନା ସହିତ ସୁପରକଣ୍ଡକ୍ଟିଙ୍ଗ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ମଧ୍ୟ | ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପୁଟରିଂ ପଦ୍ଧତି ମଧ୍ୟ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀଠାରୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭିନ୍ନ ଯ ounds ଗିକର ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇପାରେ, ଯେପରିକି ଅକ୍ସାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, କାର୍ବାଇଡ୍ ଏବଂ ସିଲିକାଇଡ୍ |
()) ସ୍ପଟର୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଭଲ ଆଡିଶିନ୍ |ଯେହେତୁ ସ୍ପୁଟର୍ ପରମାଣୁର ଶକ୍ତି ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପରମାଣୁ ତୁଳନାରେ 1-2-itude ର ଉଚ୍ଚତା ଅଟେ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୋଇଥିବା ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି କଣିକାର ଶକ୍ତି ରୂପାନ୍ତରଣ ଅଧିକ ତାପଜ ଶକ୍ତି ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯାହା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ସ୍ପଟର୍ ପରମାଣୁର ଆଡିଶନ୍ କୁ ବ ances ାଇଥାଏ |ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ସ୍ପଟର୍ଡ ପରମାଣୁର ଏକ ଅଂଶ ବିଭିନ୍ନ ଡିଗ୍ରୀରେ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ ଦିଆଯିବ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଏକ ତଥାକଥିତ ସିଉଡୋ-ଡିଫ୍ୟୁଜନ୍ ସ୍ତର ସୃଷ୍ଟି ହେବ ଯେଉଁଠାରେ ସ୍ପଟର୍ ହୋଇଥିବା ପରମାଣୁ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପଦାର୍ଥର ପରମାଣୁ ପରସ୍ପର ସହିତ “ଭୁଲ୍” |ଏଥିସହ, ସ୍ପଟରିଂ କଣିକାର ବିସ୍ଫୋରଣ ସମୟରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସର୍ବଦା ସଫା ହୋଇ ପ୍ଲାଜମା ଜୋନ୍ରେ ସକ୍ରିୟ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଖରାପ ଅନୁକରଣିତ ପରମାଣୁକୁ ଅପସାରଣ କରିଥାଏ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ଶୁଦ୍ଧ କରିଥାଏ ଏବଂ ସକ୍ରିୟ କରିଥାଏ |ଫଳସ୍ୱରୂପ, ସ୍ପ୍ରେଟେଡ୍ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ଆଡିଶନ୍ ବହୁତ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥାଏ |
|
(4) ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତାର ଭଲ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ପୁନରାବୃତ୍ତି |ଯେହେତୁ ସ୍ପଟର୍ ଆବରଣ ସମୟରେ ଡିସଚାର୍ଜ କରେଣ୍ଟ ଏବଂ ଟାର୍ଗେଟ୍ କରେଣ୍ଟକୁ ପୃଥକ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ, ତେଣୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତାକୁ ଟାର୍ଗେଟ୍ କରେଣ୍ଟକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ, ଏହିପରି, ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତାର ନିୟନ୍ତ୍ରଣତା ଏବଂ ସ୍ପଟର୍ ଆବରଣର ଏକାଧିକ ସ୍ପଟର୍ ଦ୍ୱାରା ଫିଲ୍ମର ଘନତାର ପୁନ oduc ପ୍ରବୃତ୍ତି ଭଲ | , ଏବଂ ପୂର୍ବ ନିର୍ଦ୍ଧାରିତ ଘନତାର ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଆବୃତ ହୋଇପାରେ |ଏହା ସହିତ, ସ୍ପଟର୍ ଆବରଣ ଏକ ବଡ଼ ଅଞ୍ଚଳରେ ଏକ ସମାନ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଘନତା ହାସଲ କରିପାରିବ |ଯଦିଓ, ସାଧାରଣ ସ୍ପଟର୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (ମୁଖ୍ୟତ dip ଡିପୋଲ୍ ସ୍ପୁଟର୍) ପାଇଁ, ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଜଟିଳ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଚାପ ଉପକରଣ ଆବଶ୍ୟକ କରେ |ସ୍ପଟର୍ ଡିପୋଜିସନର ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ବେଗ କମ୍, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଜମା ହାର 0.1 ~ 5nm / ମିନିଟ୍ ହୋଇଥିବାବେଳେ ସ୍ପୁଟର୍ ହାର 0.01 ~ 0.5nm / ମିନିଟ୍;ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା ବୃଦ୍ଧି ଉଚ୍ଚ ଏବଂ ଅପରିଷ୍କାର ଗ୍ୟାସ୍ ଇତ୍ୟାଦି ପାଇଁ ଅସୁରକ୍ଷିତ ଅଟେ, ତଥାପି, ଆରଏଫ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ବିକାଶ ହେତୁ, ଦ୍ରୁତ ସ୍ପୁଟର୍ ଡିପୋଜିଟ୍ ହାସଲ କରିବା ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା ହ୍ରାସ କରିବାରେ ବହୁତ ଅଗ୍ରଗତି ହୋଇଛି |ଅଧିକନ୍ତୁ, ନିକଟ ଅତୀତରେ, ନୂତନ ସ୍ପଟର୍ ଆବରଣ ପଦ୍ଧତି ଅନୁସନ୍ଧାନ କରାଯାଉଛି - ପ୍ଲାନାର୍ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଉପରେ ଆଧାର କରି - ଶୂନ୍ୟ-ଚାପ ସ୍ପଟର୍ ହେବା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସ୍ପଟର୍ ବାୟୁ ଚାପକୁ କମ୍ କରିବା ପାଇଁ ଯେଉଁଠାରେ ସ୍ପଟର୍ ସମୟରେ ଗ୍ରହଣ ଗ୍ୟାସର ଚାପ ଶୂନ୍ୟ ହେବ |