ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສະເປຣເຕີ

1, ລັກສະນະຂອງການເຄືອບສີດ
ເມື່ອປຽບທຽບກັບການເຄືອບລະເຫີຍສູນຍາກາດແບບທຳມະດາ, ການເຄືອບສະເປຣເຕີຣິງມີຄຸນສົມບັດດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
(1) ສານໃດກໍ່ສາມາດສີດໄດ້, ໂດຍສະເພາະຈຸດລະລາຍສູງ, ຄວາມກົດດັນໄອນ້ຳຕ່ຳ ແລະ ສານປະກອບ. ຕາບໃດທີ່ມັນເປັນຂອງແຂງ, ບໍ່ວ່າຈະເປັນໂລຫະ, ເຄິ່ງຕົວນຳ, ສານກັນຄວາມຮ້ອນ, ສານປະສົມ ແລະ ສ່ວນປະສົມ, ແລະອື່ນໆ, ບໍ່ວ່າຈະເປັນບລັອກ, ວັດສະດຸເມັດສາມາດໃຊ້ເປັນວັດສະດຸເປົ້າໝາຍໄດ້. ເນື່ອງຈາກການສະຫຼາຍຕົວ ແລະ ການແຍກສ່ວນໜ້ອຍເກີດຂຶ້ນເມື່ອສີດວັດສະດຸກັນຄວາມຮ້ອນ ແລະ ໂລຫະປະສົມເຊັ່ນ: ອົກໄຊ, ພວກມັນສາມາດໃຊ້ເພື່ອກະກຽມຟິມບາງໆ ແລະ ຟິມໂລຫະປະສົມທີ່ມີອົງປະກອບທີ່ເປັນເອກະພາບຄ້າຍຄືກັບວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ, ແລະ ແມ່ນແຕ່ຟິມຕົວນຳທີ່ມີສ່ວນປະກອບທີ່ສັບສົນ. ນອກຈາກນີ້, ວິທີການສີດປະຕິກິລິຍາຍັງສາມາດໃຊ້ເພື່ອຜະລິດຟິມຂອງສານປະກອບທີ່ແຕກຕ່າງຈາກວັດສະດຸເປົ້າໝາຍຢ່າງສິ້ນເຊີງ, ເຊັ່ນ: ອົກໄຊ, ໄນໄຕຣດ, ຄາໄບ ແລະ ຊິລິໄຊດ໌.
(2) ການຍຶດຕິດທີ່ດີລະຫວ່າງຟິມທີ່ສີດອອກ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນ. ເນື່ອງຈາກພະລັງງານຂອງອະຕອມທີ່ສີດອອກສູງກວ່າອະຕອມທີ່ລະເຫີຍ 1-2 ລຳດັບ, ການປ່ຽນພະລັງງານຂອງອະນຸພາກພະລັງງານສູງທີ່ຝາກໄວ້ໃນຊັ້ນຮອງພື້ນຈະສ້າງພະລັງງານຄວາມຮ້ອນທີ່ສູງຂຶ້ນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍເພີ່ມການຍຶດຕິດຂອງອະຕອມທີ່ສີດອອກກັບຊັ້ນຮອງພື້ນ. ສ່ວນໜຶ່ງຂອງອະຕອມທີ່ສີດອອກພະລັງງານສູງຈະຖືກສີດເຂົ້າໃນລະດັບທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ປະກອບເປັນຊັ້ນທີ່ເອີ້ນວ່າການແຜ່ກະຈາຍປອມຢູ່ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນບ່ອນທີ່ອະຕອມທີ່ສີດອອກ ແລະ ອະຕອມຂອງວັດສະດຸຊັ້ນຮອງພື້ນ "ປະສົມເຂົ້າກັນ" ກັບກັນແລະກັນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ໃນລະຫວ່າງການຖິ້ມອະນຸພາກທີ່ສີດອອກ, ຊັ້ນຮອງພື້ນຈະຖືກທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ກະຕຸ້ນຢູ່ໃນເຂດພລາສມາສະເໝີ, ເຊິ່ງຈະກຳຈັດອະຕອມທີ່ຕົກຕະກອນບໍ່ດີ, ເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວຊັ້ນຮອງພື້ນບໍລິສຸດ ແລະ ກະຕຸ້ນ. ດັ່ງນັ້ນ, ການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນຟິມທີ່ສີດອອກກັບຊັ້ນຮອງພື້ນຈຶ່ງເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
(3) ຄວາມໜາແໜ້ນສູງຂອງການເຄືອບ sputtering, ຮູຂຸມຂົນໜ້ອຍລົງ, ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊັ້ນຟິມສູງຂຶ້ນ ເນື່ອງຈາກບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຂອງ crucible, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງທີ່ຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້ໃນການວາງອາຍສູນຍາກາດໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຄືອບ sputtering.
(4) ການຄວບຄຸມ ແລະ ການເຮັດຊ້ຳຄວາມໜາຂອງຟິມໄດ້ດີ. ເນື່ອງຈາກກະແສໄຟຟ້າ ແລະ ກະແສໄຟຟ້າເປົ້າໝາຍສາມາດຄວບຄຸມແຍກຕ່າງຫາກໃນລະຫວ່າງການເຄືອບສະເປ, ຄວາມໜາຂອງຟິມສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ໂດຍການຄວບຄຸມກະແສໄຟຟ້າເປົ້າໝາຍ, ດັ່ງນັ້ນ, ການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດຊ້ຳຄວາມໜາຂອງຟິມໂດຍການສະເປຫຼາຍຄັ້ງຂອງການເຄືອບສະເປແມ່ນດີ, ແລະ ຟິມທີ່ມີຄວາມໜາທີ່ກຳນົດໄວ້ສາມາດເຄືອບໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການເຄືອບສະເປສາມາດໄດ້ຮັບຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນພື້ນທີ່ກ້ວາງ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ສຳລັບເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສະເປທົ່ວໄປ (ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນການສະເປໄດໂພລ), ອຸປະກອນມີຄວາມສັບສົນ ແລະ ຕ້ອງການອຸປະກອນຄວາມດັນສູງ; ຄວາມໄວໃນການສ້າງຟິມຂອງການວາງສະເປແມ່ນຕໍ່າ, ອັດຕາການວາງລະເຫີຍສູນຍາກາດແມ່ນ 0.1~5nm/ນາທີ, ໃນຂະນະທີ່ອັດຕາການສະເປແມ່ນ 0.01~0.5nm/ນາທີ; ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນແມ່ນສູງ ແລະ ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ອາຍແກັສສິ່ງປົນເປື້ອນ, ແລະອື່ນໆ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເນື່ອງຈາກການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຊີການສະເປ RF ແລະ ການສະເປແມກເນຕຣອນ, ໄດ້ຮັບຄວາມຄືບໜ້າຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນການບັນລຸການວາງສະເປໄວ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ວິທີການເຄືອບສະເປເຕີແບບໃໝ່ກຳລັງຖືກຄົ້ນຄວ້າ - ໂດຍອີງໃສ່ການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນແບບຮາບພຽງ - ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຂອງອາກາດສະເປເຕີຣິງຈົນກ່ວາການສະເປເຕີຣິງທີ່ມີຄວາມດັນສູນບ່ອນທີ່ຄວາມດັນຂອງອາຍແກັສເຂົ້າໃນລະຫວ່າງການສະເປເຕີຣິງຈະເປັນສູນ.