1 sp Tüýdük örtüginiň aýratynlyklary
Adaty wakuum bugarmak örtügi bilen deňeşdirilende, tüýkürýän örtük aşakdaky aýratynlyklara eýedir ：
(1) Islendik madda dökülip bilner, esasanam ýokary ereýän nokat, pes bug basyş elementleri we birleşmeler. Gaty berk bolsa, metal bolsun, ýarymgeçiriji, izolýator, birleşme we garyndy we ş.m., blok bolsun, granular material maksatly material hökmünde ulanylyp bilner. Oksidler ýaly izolýasiýa materiallary we erginleri dökülende az dargamak we bölünişik ýüze çykýandygy sebäpli, maksatly materiallara meňzeş birmeňzeş komponentleri bolan inçe filmleri we garyndy filmleri taýýarlamak üçin, hatda çylşyrymly kompozisiýaly super geçiriji filmleri taýýarlamak üçin ulanylyp bilner. Mundan başga-da, reaktiw tüýkürmek usuly oksidler, nitridler, karbidler ýaly maksatly materialdan düýpgöter tapawutly birleşmeler filmlerini öndürmek üçin hem ulanylyp bilner.
(2) Dökülen film bilen substratyň arasynda gowy ýelmeşme. Dökülen atomlaryň energiýasy bugarýan atomlaryňkydan 1-2 ululyk ululygy sebäpli, substratda goýlan ýokary energiýa bölejikleriniň energiýa öwrülişi ýokary ýylylyk energiýasyny döredýär, bu bolsa dökülen atomlaryň substrata ýapyşmagyny güýçlendirýär. Energyokary energiýa bilen dökülen atomlaryň bir bölegi dürli derejelere sanjym ediler we substratda pseudo-diffuziýa gatlagyny emele getirer, bu ýerde dökülen atomlar we substrat materialynyň atomlary biri-biri bilen “ýalňyş”. Mundan başga-da, tüýkürýän bölejikleri bombalanda, substrat hemişe arassalanýar we plazma zonasynda işjeňleşýär, bu bolsa berk ýapyşan atomlary aýyrýar, substratyň üstüni arassalaýar we işjeňleşdirýär. Netijede, tüýkürilen film gatlagynyň substrata ýapyşmagy ep-esli güýçlenýär.
.
(4) Filmiň galyňlygynyň gowy dolandyrylmagy we gaýtalanmagy. Dökülýän tok we maksat toguny tüýkülik örtügi wagtynda aýratyn dolandyryp bolýandygy sebäpli, filmiň galyňlygyny maksat toguna gözegçilik etmek arkaly dolandyryp bolýar, şeýlelik bilen, filmiň galyňlygynyň we tüýdük örtüginiň köp gezek ýaýramagy bilen filmiň galyňlygynyň köpelmegi gowy we öňünden kesgitlenen galyňlyk filmi örtülip bilner. Mundan başga-da, tüýdük örtük uly meýdanda birmeňzeş film galyňlygyny alyp biler. Şeýle-de bolsa, umumy tüýdük örtük tehnologiýasy (esasan dipol tüýkürmek) üçin enjam çylşyrymly we ýokary basyşly enjam talap edýär; tüýdügiň çökdürilişiniň film emele geliş tizligi pes, wakuum bugarmagyň depgini 0,1 ~ 5nm / min, tüýkürme derejesi 0.01 ~ 0.5nm / min; substratyň temperaturasynyň ýokarlanmagy ýokary we hapa gaz üçin howply we ş.m. Şeýle-de bolsa, RF tüýdük we magnitron tüýdük tehnologiýasynyň ösmegi sebäpli, çalt tüýkürmegi we substratyň temperaturasyny peseltmekde uly ösüş gazanyldy. Mundan başga-da, soňky ýyllarda tüýkürme örtüginiň täze usullary derňelýär - planar magnetron tüýdügine esaslanýar - dökülýän howa basyşyny nol basyşly tüýkürýänçä azaltmak üçin, dökülýän wagty kabul edilýän gazyň basyşy nola deň bolar.
Iş wagty: Noýabr-08-2022