RF razrýadynyň ulanylyşy

1. Izolaýsiýa plýonkasyny püskürtmek we örtmek üçin peýdaly. Elektrod polýarlygynyň çalt üýtgemegi izolýasiýa nyşanalaryny gönüden-göni püskürtmek we izolýasiýa plýonkalaryny almak üçin ulanylyp bilner. Eger izolýasiýa plýonkasyny püskürtmek we goýmak üçin DC energiýa çeşmesi ulanylsa, izolýasiýa plýonkasy oňyn ionlaryň katoda girmegine päsgel berer we döwülmäge we ot almaga meýilli oňyn ion toplanýan gatlagy emele getirer. Anodda izolýasiýa plýonkasy ýerleşdirilenden soň, elektronlaryň anoda girmegine päsgel berilýär we bu bolsa anodyň ýitip gitmegi hadysasyna getirýär. Izolaýsiýa plýonkasyny örtmek üçin RF energiýa çeşmesi ulanylanda, elektrodlaryň üýtgeýän polýarlygy sebäpli, sikliň birinji ýarymynda katodda toplanan oňyn zarýadlar sikliň ikinji ýarymynda elektronlar tarapyndan neýtrallaşdyrylar we anodda toplanan elektronlar oňyn ionlar tarapyndan neýtrallaşdyrylar. Ikinji ýarym sikliň tersine proses elektrodda zarýadlaryň toplanmagyny aradan aýryp biler we boşalma prosesi kadaly dowam edip biler.

2. Ýokary ýygylykly elektrodlar öz-özüne täsir edýär. Tekiz elektrod gurluşy bolan RF enjamynda, kapasitiw birleşdirijini ulanýan zynjyrdaky ýokary ýygylykly elektrodlar öz-özüne täsir edýän naprýaženiýe döredýär. Elektron migrasiýa tizligi bilen boşalmada ion migrasiýa tizliginiň arasyndaky uly tapawut elektronlaryň belli bir wagtda has uly hereket tizligine ýetmegine mümkinçilik berýär, ion tizliginiň haýal bolmagy bolsa toplanmagyna sebäp bolýar. Ýokary ýygylykly elektrod her sikliň köp böleginde negatiw potensialda bolýar, bu bolsa ýerde negatiw naprýaženiýe döredýär, bu bolsa ýokary ýygylykly elektrodyň öz-özüne täsir etmegi hadysasydyr.

RF boşaltma elektrody tarapyndan döredilýän öz-özüne täsirlenme, boşaltma prosesini dowam etdirmek üçin katod elektrodynyň ion bombardmanyny çaltlaşdyrýar we öz-özüne täsirlenme, DC şöhle boşaltmasynda katodyň düşmegine meňzeş rol oýnaýar. RF elektrik üpjünçiligi ulanylsa-da, ýokary ýygylykly elektrodyň döreden öz-özüne täsirlenme naprýaženiýesi 500-1000V ýetýändigi sebäpli boşalma durnukly bolup biler.

3. Radioýygylykly razrýad atmosfera basyşynyň ýalpyldawuk razrýadynda we soňraky dielektrik päsgelçilikleriň ýalpyldawuk razrýadynda möhüm rol oýnaýar.