1. Có lợi cho việc lắng đọng và mạ màng cách điện. Sự thay đổi nhanh chóng về cực tính của điện cực có thể được sử dụng để trực tiếp lắng đọng các mục tiêu cách điện nhằm thu được màng cách điện. Nếu sử dụng nguồn điện một chiều để lắng đọng và tạo màng cách điện, màng cách điện sẽ ngăn các ion dương đi vào cực âm, tạo thành lớp tích tụ ion dương, dễ bị đánh thủng và bắt lửa. Sau khi lắng đọng màng cách điện trên cực dương, các electron bị ngăn không cho đi vào cực dương, dẫn đến hiện tượng cực dương biến mất. Khi sử dụng nguồn điện tần số vô tuyến (RF) để phủ màng cách điện, do sự thay đổi cực tính của các điện cực, các điện tích dương tích tụ trên cực âm trong nửa đầu chu kỳ sẽ được trung hòa bởi các electron trong nửa sau của chu kỳ, và các electron tích tụ trên cực dương sẽ được trung hòa bởi các ion dương. Quá trình ngược lại trong nửa sau của chu kỳ có thể loại bỏ sự tích tụ điện tích trên điện cực, và quá trình phóng điện có thể diễn ra bình thường.
2. Điện cực tần số cao tạo ra điện áp tự phân cực. Trong thiết bị RF có cấu trúc điện cực phẳng, các điện cực tần số cao trong mạch sử dụng khớp nối điện dung tạo ra điện áp tự phân cực. Sự khác biệt lớn giữa tốc độ di chuyển của electron và tốc độ di chuyển của ion trong quá trình phóng điện cho phép electron đạt được tốc độ di chuyển lớn hơn tại một thời điểm nhất định, trong khi tốc độ ion chậm hơn gây ra sự tích tụ. Điện cực tần số cao có điện thế âm trong hầu hết mỗi chu kỳ, dẫn đến điện áp âm trên bề mặt, đây chính là hiện tượng tự phân cực của điện cực tần số cao.
Điện áp tự phân cực do điện cực phóng điện tần số vô tuyến tạo ra làm tăng tốc độ bắn phá ion vào điện cực catốt, khiến nó liên tục phát ra các electron thứ cấp để duy trì quá trình phóng điện. Điện áp tự phân cực này đóng vai trò tương tự như sự sụt áp catốt trong quá trình phóng điện phát sáng DC. Mặc dù sử dụng nguồn điện tần số vô tuyến, quá trình phóng điện vẫn có thể ổn định nhờ điện áp tự phân cực do điện cực tần số cao tạo ra, đạt mức 500-1000V.
3. Sự phóng điện tần số vô tuyến đóng vai trò quan trọng trong hiện tượng phóng điện phát sáng áp suất khí quyển và phóng điện phát sáng rào cản điện môi được giới thiệu sau đây.
Thời gian đăng bài: 21/06/2023