1. Ó ṣe pàtàkì fún fífi fíìmù ìdènà síta àti fífi bò ó. A lè lo ìyípadà kíákíá nínú ìdènà elekitirodu láti fi fíìmù ìdènà síta tààrà láti gba àwọn fíìmù ìdènà. Tí a bá lo orísun agbára DC láti fi fíìmù ìdènà síta àti láti fi fíìmù ìdènà síta, fíìmù ìdènà náà yóò dí àwọn ion rere lọ́wọ́ láti wọ inú kathode, èyí tí yóò ṣẹ̀dá ìpele ìkójọpọ̀ ion rere, èyí tí ó lè fọ́ àti ìfọ́nná. Lẹ́yìn tí a bá ti fi fíìmù ìdènà síta anode, a ó dí àwọn elekitironu lọ́wọ́ láti wọ inú anode, èyí tí yóò yọrí sí ìṣẹ̀lẹ̀ píparẹ́ anode. Nígbà tí a bá ń lo orísun agbára RF láti fi bo fíìmù ìdènà, nítorí ìyípadà polarity ti àwọn elekitirodu náà, àwọn agbára rere tí a kó jọ lórí cathode ní ìdajì àkọ́kọ́ ti cycle náà yóò di aláìlera nípasẹ̀ àwọn elekitironu ní ìdajì kejì ti cycle náà, àwọn elekitironu tí a kó jọ sórí anode náà yóò sì di aláìlera nípasẹ̀ àwọn ion rere. Ìlànà òdìkejì ní ìdajì kejì le mú kí ìkójọpọ̀ àwọn agbára lórí elekitirodu náà kúrò, ìlànà ìtújáde náà sì le tẹ̀síwájú déédéé.
2. Àwọn elekitirodu ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ gíga máa ń fa ìfẹ́ ara ẹni. Nínú ẹ̀rọ RF pẹ̀lú ètò elekitirodu onípele, àwọn elekitirodu ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ gíga nínú àyíká náà tí wọ́n ń lo ìbáramu capacitive coupling máa ń mú voltage ara ẹni jáde. Ìyàtọ̀ ńlá láàárín iyàrá ìṣíkiri elekitironu àti iyàrá ìṣíkiri ion nínú ìtújáde ń jẹ́ kí àwọn elekitironu lè ṣe àṣeyọrí iyàrá ìṣíkiri tó ga jù ní àkókò kan, nígbà tí iyàrá ion tó lọ́ra máa ń fa ìkójọpọ̀. Elekitirodu ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ gíga wà ní agbára òdì fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìyípo kọ̀ọ̀kan, èyí tí ó ń yọrí sí foliteji òdì lórí ilẹ̀, èyí tí ó jẹ́ ìṣẹ̀lẹ̀ ìfẹ́ ara ẹni ti elekitirodu ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ gíga.
Ìfẹ́ ara ẹni tí a ń ṣe láti inú electrode ìtújáde RF ń mú kí ìbọn ion ti elekitirodu cathode yára láti máa tú àwọn elekitironi kejì jáde nígbà gbogbo láti máa ṣe ìtọ́jú ilana ìtújáde, àti ìfẹ́ ara ẹni ń kó ipa kan náà pẹ̀lú ìtújáde cathode nínú ìtújáde glow DC. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó ń lo agbára RF, ìtújáde náà lè dúró ṣinṣin nítorí fóltéèjì ìtújáde ara ẹni tí elekitirodu ìgbóná gíga tí ó dé 500-1000V ń mú jáde.
3. Ìtújáde ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ rédíò kó ipa pàtàkì nínú ìtújáde ìfúnpọ̀ afẹ́fẹ́ àti ìtújáde ìfúnpọ̀ ìdènà dielectric tí a ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ lẹ́yìn náà.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-21-2023