1. Bara uru maka ịgbasa na itinye ihe mkpuchi mkpuchi. Enwere ike iji mgbanwe ngwa ngwa na polarity electrode mee ihe iji gbochie ihe mgbochi sputter ozugbo iji nweta ihe mkpuchi mkpuchi. Ọ bụrụ na ejiri isi iyi ike DC mee ihe ịgbasa ma tinye ihe mkpuchi mkpuchi, ihe mkpuchi mkpuchi ahụ ga-egbochi ion dị mma ịbanye na kathode, na-emepụta oyi akwa mkpokọta ion dị mma, nke nwere ike imebi ma gbanye ọkụ. Mgbe etinyechara ihe mkpuchi mkpuchi na anode, a na-egbochi electrons ịbanye na anode, nke na-ebute ihe na-apụ n'anya anode. Mgbe ejiri isi iyi ike RF kpuchie ihe mkpuchi mkpuchi, n'ihi polarity nke electrodes, a ga-eme ka ebubo dị mma a gbakọtara na kathode na ọkara mbụ nke okirikiri ahụ kwụsị site na elektrọn na ọkara nke abụọ nke okirikiri ahụ, a ga-emekwa ka elektrọn ndị a gbakọtara na anode kwụsị site na ion dị mma. Usoro dị iche na okirikiri ọkara nke abụọ nwere ike iwepụ mkpokọta ebubo na elektrọd ahụ, usoro mwepụta ahụ nwekwara ike ịga n'ihu n'ụzọ nkịtị.
2. Elektrọd ugboro ugboro dị elu na-emepụta echiche onwe onye. Na ngwaọrụ RF nwere nhazi elektrọd dị larịị, elektrọd ugboro ugboro dị elu na sekit ahụ na-eji njikọ capacitive na-emepụta voltaji echiche onwe onye. Nnukwu ọdịiche dị n'etiti ọsọ mbugharị elektrọn na ọsọ mbugharị ion na mwepụta na-enye elektrọn ohere iru ọsọ ngagharị ka ukwuu n'otu oge, ebe ọsọ ion dị nwayọ na-akpata mkpokọta. Elektrọd ugboro ugboro dị na ikike na-adịghị mma maka ọtụtụ okirikiri ọ bụla, na-ebute voltaji na-adịghị mma na ala, nke bụ ihe na-akpata echiche onwe onye nke elektrọd ugboro ugboro dị elu.
Mkpesa onwe onye nke elektrọd mwepụ RF na-emepụta na-eme ka bọmbụ ion nke elektrọd cathode na-apụta ngwa ngwa iji na-ewepụta elektrọn nke abụọ iji nọgide na-enwe usoro mwepụ, mmegbu onwe onye na-arụkwa ọrụ yiri nke mbelata kathode na mwepụ ọkụ DC. Ọ bụ ezie na ọ na-eji ike RF, mwepụ ahụ nwere ike ịdịgide n'ihi voltaji mmegbu onwe onye nke elektrọd ugboro ugboro na-eru 500-1000V.
3. Mwepụ redio ugboro ugboro na-arụ ọrụ dị mkpa na mwepụta ọkụ ikuku na mwepụta ọkụ dielectric nke ihe mgbochi ga-apụta ma emechaa.
Oge ozi: Juun-21-2023