1. İzolyasiya filminin püskürtülməsi və örtülməsi üçün faydalıdır. Elektrod polyarlığının sürətli dəyişməsi izolyasiya filmləri əldə etmək üçün izolyasiya hədəflərini birbaşa püskürtmək üçün istifadə edilə bilər. İzolyasiya filmini püskürtmək və yerləşdirmək üçün DC enerji mənbəyindən istifadə edilərsə, izolyasiya filmi müsbət ionların katoda daxil olmasının qarşısını alacaq və parçalanmaya və alovlanmaya meylli olan müsbət ion yığılma təbəqəsi əmələ gətirəcək. Anodda izolyasiya filmi yerləşdirildikdən sonra elektronların anoda daxil olmasına mane olur və bu da anodun yox olması fenomeninə səbəb olur. İzolyasiya filmini örtmək üçün RF enerji mənbəyindən istifadə edərkən, elektrodların alternativ polyarlığı səbəbindən, dövrünün birinci yarısında katodda yığılan müsbət yüklər dövrünün ikinci yarısında elektronlar tərəfindən neytrallaşdırılacaq və anodda yığılan elektronlar müsbət ionlar tərəfindən neytrallaşdırılacaq. İkinci yarım dövrədə əks proses elektrodda yüklərin yığılmasını aradan qaldıra bilər və boşalma prosesi normal davam edə bilər.
2. Yüksək tezlikli elektrodlar öz-özünə qərəz yaradır. Düz elektrod quruluşuna malik RF cihazında, tutumlu birləşmə uyğunluğundan istifadə edən dövrədəki yüksək tezlikli elektrodlar öz-özünə qərəzli gərginlik yaradır. Elektron miqrasiya sürəti ilə boşalmada ion miqrasiya sürəti arasındakı böyük fərq elektronların müəyyən bir zamanda daha yüksək hərəkət sürətinə nail olmasına imkan verir, daha yavaş ion sürəti isə toplanmaya səbəb olur. Yüksək tezlikli elektrod hər dövrənin əksər hissəsində mənfi potensialda olur və bu da ərazidə mənfi gərginliyə səbəb olur ki, bu da yüksək tezlikli elektrodun öz-özünə qərəzliliyi fenomeni deməkdir.
RF boşaltma elektrodu tərəfindən yaradılan öz-özünə qərəz, boşalma prosesini davam etdirmək üçün davamlı olaraq ikinci dərəcəli elektronlar buraxmaq üçün katod elektrodunun ion bombardmanını sürətləndirir və öz-özünə qərəz, DC parıltı boşalmasında katodun düşməsinə bənzər bir rol oynayır. RF enerji təchizatı istifadə edilsə də, yüksək tezlikli elektrodun yaratdığı öz-özünə qərəz gərginliyi 500-1000V-ə çatdığı üçün boşalma sabit ola bilər.
3. Radiotezlikli boşalma, sonradan tətbiq olunan atmosfer təzyiqi parıltı boşalmasında və dielektrik baryer parıltı boşalmasında mühüm rol oynayır.
Yazı vaxtı: 21 iyun 2023