১. ইনসুলেশন ফিল্ম স্পাটারিং এবং প্লেটিং করার জন্য উপকারী। ইলেকট্রোডের পোলারিটির দ্রুত পরিবর্তন ব্যবহার করে সরাসরি ইনসুলেটিং টার্গেট স্পাটার করে ইনসুলেটিং ফিল্ম তৈরি করা যায়। যদি ডিসি পাওয়ার সোর্স ব্যবহার করে ইনসুলেশন ফিল্ম স্পাটার ও ডিপোজিট করা হয়, তবে ইনসুলেশন ফিল্মটি ক্যাথোডে পজিটিভ আয়ন প্রবেশে বাধা দেয়, ফলে একটি পজিটিভ আয়ন জমার স্তর তৈরি হয়, যা ব্রেকডাউন এবং ইগনিশনের ঝুঁকি বাড়ায়। অ্যানোডের উপর ইনসুলেটিং ফিল্ম জমা হওয়ার পর, ইলেকট্রন অ্যানোডে প্রবেশে বাধা পায়, যার ফলে অ্যানোড অদৃশ্য হয়ে যাওয়ার ঘটনা ঘটে। যখন আরএফ পাওয়ার সোর্স ব্যবহার করে ইনসুলেশন ফিল্ম লেপন করা হয়, তখন ইলেকট্রোডের পোলারিটি পরিবর্তনের কারণে, সাইকেলের প্রথমার্ধে ক্যাথোডে জমা হওয়া পজিটিভ চার্জ সাইকেলের দ্বিতীয়ার্ধে ইলেকট্রন দ্বারা প্রশমিত হয় এবং অ্যানোডে জমা হওয়া ইলেকট্রন পজিটিভ আয়ন দ্বারা প্রশমিত হয়। সাইকেলের দ্বিতীয়ার্ধে এই বিপরীত প্রক্রিয়াটি ইলেকট্রোডে চার্জ জমা হওয়াকে দূর করতে পারে এবং ডিসচার্জ প্রক্রিয়া স্বাভাবিকভাবে চলতে পারে।
২. উচ্চ কম্পাঙ্কের ইলেকট্রোড স্ব-বায়াস (self bias) তৈরি করে। সমতল ইলেকট্রোড কাঠামোযুক্ত আরএফ (RF) ডিভাইসে, ক্যাপাসিটিভ কাপলিং ম্যাচিং ব্যবহার করে সার্কিটের উচ্চ-কম্পাঙ্কের ইলেকট্রোডগুলো স্ব-বায়াস ভোল্টেজ তৈরি করে। ডিসচার্জের সময় ইলেকট্রন ও আয়নের চলাচল গতির মধ্যে বিশাল পার্থক্যের কারণে ইলেকট্রনগুলো একটি নির্দিষ্ট সময়ে অধিক গতি লাভ করে, অন্যদিকে আয়নের ধীর গতির কারণে সঞ্চয়ন ঘটে। উচ্চ-কম্পাঙ্কের ইলেকট্রোডটি প্রতিটি চক্রের বেশিরভাগ সময় একটি ঋণাত্মক বিভবে থাকে, যার ফলে পৃষ্ঠে একটি ঋণাত্মক ভোল্টেজ তৈরি হয়, যা উচ্চ-কম্পাঙ্কের ইলেকট্রোডের স্ব-বায়াসের ঘটনা।
আরএফ ডিসচার্জ ইলেকট্রোড দ্বারা উৎপন্ন সেলফ বায়াস, ক্যাথোড ইলেকট্রোডের আয়ন বোম্বার্ডমেন্টকে ত্বরান্বিত করে ক্রমাগত সেকেন্ডারি ইলেকট্রন নির্গত করে ডিসচার্জ প্রক্রিয়াটি বজায় রাখে, এবং এই সেলফ বায়াস ডিসি গ্লো ডিসচার্জের ক্যাথোড ড্রপের অনুরূপ ভূমিকা পালন করে। আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই ব্যবহার করা সত্ত্বেও, উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইলেকট্রোড দ্বারা উৎপন্ন সেলফ বায়াস ভোল্টেজ ৫০০-১০০০ ভোল্ট পর্যন্ত পৌঁছানোর কারণে ডিসচার্জটি স্থিতিশীল হতে পারে।
৩. পরবর্তীতে আলোচিত বায়ুমণ্ডলীয় চাপ গ্লো ডিসচার্জ এবং ডাইইলেকট্রিক ব্যারিয়ার গ্লো ডিসচার্জে রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ডিসচার্জ একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।
পোস্ট করার সময়: ২১-জুন-২০২৩