1. مفيد لترسيب طبقات العزل بالرش. يمكن استخدام التغير السريع في قطبية الأقطاب الكهربائية لترسيب طبقات العزل مباشرةً على الأهداف العازلة. عند استخدام مصدر طاقة تيار مستمر لترسيب طبقة العزل، فإنها ستمنع الأيونات الموجبة من دخول المهبط، مما يُشكل طبقة تراكم أيونات موجبة، وهي عرضة للتلف والاشتعال. بعد ترسيب طبقة العزل على المصعد، تُمنع الإلكترونات من دخوله، مما يؤدي إلى اختفاء المصعد. عند استخدام مصدر طاقة ترددات راديوية لطلاء طبقة العزل، وبسبب تناوب قطبية الأقطاب، تُعادل الإلكترونات الموجبة المتراكمة على المهبط في النصف الأول من الدورة الشحنات الموجبة في النصف الثاني، بينما تُعادل الأيونات الموجبة الإلكترونات المتراكمة على المصعد. هذه العملية المعاكسة في النصف الثاني من الدورة تُزيل تراكم الشحنات على القطب، وتستمر عملية التفريغ بشكل طبيعي.
٢. تولد الأقطاب الكهربائية عالية التردد انحيازًا ذاتيًا. في جهاز الترددات الراديوية ذي بنية الأقطاب المسطحة، تولد الأقطاب الكهربائية عالية التردد في الدائرة، التي تستخدم مطابقة الاقتران السعوي، جهد انحياز ذاتي. يُمكّن الفرق الكبير بين سرعة هجرة الإلكترونات وسرعة هجرة الأيونات أثناء التفريغ الإلكترونات من تحقيق سرعة حركة أكبر في لحظة معينة، بينما تؤدي سرعة الأيونات الأبطأ إلى تراكمها. يكون قطب التردد العالي عند جهد سالب خلال معظم كل دورة، مما ينتج عنه جهد سالب على السطح، وهي ظاهرة الانحياز الذاتي لقطب التردد العالي.
يُسرّع الانحياز الذاتي الناتج عن قطب التفريغ بترددات الراديو من قصف قطب الكاثود بالأيونات، مما يؤدي إلى انبعاث مستمر للإلكترونات الثانوية للحفاظ على عملية التفريغ. ويؤدي هذا الانحياز الذاتي دورًا مشابهًا لانخفاض الجهد عند الكاثود في تفريغ التوهج بالتيار المستمر. وعلى الرغم من استخدام مصدر طاقة بترددات الراديو، إلا أن التفريغ يظل مستقرًا بفضل جهد الانحياز الذاتي الناتج عن قطب التردد العالي والذي يصل إلى 500-1000 فولت.
3. يلعب التفريغ بترددات الراديو دورًا مهمًا في التفريغ المتوهج بالضغط الجوي والتفريغ المتوهج بحاجز عازل يتم تقديمهما لاحقًا.
تاريخ النشر: 21 يونيو 2023