१. इन्सुलेशन फिल्मच्या स्पटरिंग आणि प्लेटिंगसाठी फायदेशीर. इलेक्ट्रोडच्या ध्रुवीयतेतील जलद बदलाचा उपयोग इन्सुलेटिंग लक्ष्यांवर थेट स्पटरिंग करून इन्सुलेटिंग फिल्म्स मिळवण्यासाठी केला जाऊ शकतो. जर इन्सुलेशन फिल्मचे स्पटरिंग आणि निक्षेपण करण्यासाठी डीसी (DC) पॉवर सोर्स वापरला गेला, तर इन्सुलेशन फिल्म धन आयनांना कॅथोडमध्ये प्रवेश करण्यापासून रोखेल, ज्यामुळे धन आयनांचा संचय थर तयार होईल, जो ब्रेकडाउन आणि प्रज्वलनासाठी प्रवण असतो. ॲनोडवर इन्सुलेटिंग फिल्म जमा केल्यानंतर, इलेक्ट्रॉन्सना ॲनोडमध्ये प्रवेश करण्यापासून रोखले जाते, ज्यामुळे ॲनोड नाहीसा होण्याची घटना घडते. इन्सुलेशन फिल्मचा थर देण्यासाठी आरएफ (RF) पॉवर सोर्स वापरताना, इलेक्ट्रोडच्या बदलत्या ध्रुवीयतेमुळे, चक्राच्या पहिल्या अर्ध्या भागात कॅथोडवर जमा झालेले धन प्रभार चक्राच्या दुसऱ्या अर्ध्या भागात इलेक्ट्रॉन्सद्वारे निष्प्रभ केले जातात आणि ॲनोडवर जमा झालेले इलेक्ट्रॉन्स धन आयनांद्वारे निष्प्रभ केले जातात. चक्राच्या दुसऱ्या अर्ध्या भागातील या उलट प्रक्रियेमुळे इलेक्ट्रोडवरील प्रभारांचा संचय नाहीसा होऊ शकतो आणि डिस्चार्ज प्रक्रिया सामान्यपणे पुढे चालू शकते.
२. उच्च-फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोड्स सेल्फ बायस निर्माण करतात. सपाट इलेक्ट्रोड रचना असलेल्या RF उपकरणामध्ये, कपॅसिटिव्ह कपलिंग मॅचिंग वापरणाऱ्या सर्किटमधील उच्च-फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोड्स सेल्फ बायस व्होल्टेज निर्माण करतात. डिस्चार्जमधील इलेक्ट्रॉन स्थलांतर गती आणि आयन स्थलांतर गती यांच्यातील प्रचंड फरकामुळे, इलेक्ट्रॉन एका विशिष्ट वेळी अधिक वेगाने हालचाल करू शकतात, तर आयनांची कमी गती संचयनास कारणीभूत ठरते. उच्च-फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोड प्रत्येक सायकलच्या बहुतेक भागासाठी नकारात्मक पोटेन्शिअलवर असतो, ज्यामुळे पृष्ठभागावर नकारात्मक व्होल्टेज निर्माण होतो, हीच उच्च-फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोडच्या सेल्फ बायसची घटना आहे.
आरएफ डिस्चार्ज इलेक्ट्रोडद्वारे निर्माण होणारा सेल्फ बायस, कॅथोड इलेक्ट्रोडवरील आयन बॉम्बार्डमेंटला गती देतो, ज्यामुळे डिस्चार्ज प्रक्रिया टिकवून ठेवण्यासाठी सेकंडरी इलेक्ट्रॉन्सचे उत्सर्जन सतत होत राहते. हा सेल्फ बायस डीसी ग्लो डिस्चार्जमधील कॅथोड ड्रॉपसारखीच भूमिका बजावतो. आरएफ पॉवर सप्लाय वापरला तरीही, हाय-फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोडद्वारे निर्माण होणारा सेल्फ बायस व्होल्टेज ५००-१०००V पर्यंत पोहोचत असल्यामुळे डिस्चार्ज स्थिर राहू शकतो.
३. नंतर सादर केलेल्या वातावरणीय दाब ग्लो डिस्चार्ज आणि डायलेक्ट्रिक बॅरियर ग्लो डिस्चार्जमध्ये रेडिओ फ्रिक्वेन्सी डिस्चार्ज महत्त्वाची भूमिका बजावतो.
पोस्ट करण्याची वेळ: २१ जून २०२३