1. Bermanfaat untuk proses sputtering dan pelapisan film isolasi. Perubahan polaritas elektroda yang cepat dapat digunakan untuk langsung melakukan sputtering pada target isolasi untuk mendapatkan film isolasi. Jika sumber daya DC digunakan untuk melakukan sputtering dan pengendapan film isolasi, film isolasi akan menghalangi ion positif memasuki katoda, membentuk lapisan akumulasi ion positif, yang rentan terhadap kerusakan dan kebakaran. Setelah pengendapan film isolasi pada anoda, elektron terhalang memasuki anoda, sehingga menyebabkan fenomena hilangnya anoda. Ketika menggunakan sumber daya RF untuk melapisi film isolasi, karena polaritas elektroda yang berg alternating, muatan positif yang terakumulasi pada katoda pada setengah siklus pertama akan dinetralkan oleh elektron pada setengah siklus kedua, dan elektron yang terakumulasi pada anoda akan dinetralkan oleh ion positif. Proses sebaliknya pada setengah siklus kedua dapat menghilangkan akumulasi muatan pada elektroda, dan proses pelepasan muatan dapat berlangsung normal.
2. Elektroda frekuensi tinggi menghasilkan bias diri. Pada perangkat RF dengan struktur elektroda datar, elektroda frekuensi tinggi dalam rangkaian yang menggunakan pencocokan kopling kapasitif menghasilkan tegangan bias diri. Perbedaan besar antara kecepatan migrasi elektron dan kecepatan migrasi ion dalam pelepasan memungkinkan elektron mencapai kecepatan pergerakan yang lebih besar pada waktu tertentu, sementara kecepatan ion yang lebih lambat menyebabkan akumulasi. Elektroda frekuensi tinggi berada pada potensial negatif untuk sebagian besar setiap siklus, menghasilkan tegangan negatif pada medan, yang merupakan fenomena bias diri elektroda frekuensi tinggi.
Tegangan bias diri yang dihasilkan oleh elektroda lucutan RF mempercepat bombardir ion pada elektroda katoda untuk terus memancarkan elektron sekunder guna mempertahankan proses lucutan, dan tegangan bias diri ini berperan serupa dengan tegangan jatuh katoda pada lucutan pijar DC. Meskipun menggunakan catu daya RF, lucutan dapat stabil karena tegangan bias diri yang dihasilkan oleh elektroda frekuensi tinggi mencapai 500-1000V.
3. Pelepasan frekuensi radio memainkan peran penting dalam pelepasan pijar tekanan atmosfer dan pelepasan pijar penghalang dielektrik yang akan dibahas kemudian.
Waktu posting: 21 Juni 2023