1. Benéfico para pulverização catódica e revestimento de filmes isolantes. A rápida mudança na polaridade do eletrodo pode ser usada para pulverizar diretamente alvos isolantes e obter filmes isolantes. Se uma fonte de alimentação CC for usada para pulverizar e depositar o filme isolante, o filme isolante bloqueará a entrada de íons positivos no cátodo, formando uma camada de acúmulo de íons positivos, que é propensa a ruptura e ignição. Após a deposição de um filme isolante no ânodo, os elétrons são bloqueados, resultando no desaparecimento do ânodo. Ao usar uma fonte de alimentação RF para revestir o filme isolante, devido à polaridade alternada dos eletrodos, as cargas positivas acumuladas no cátodo na primeira metade do ciclo serão neutralizadas por elétrons na segunda metade do ciclo, e os elétrons acumulados no ânodo serão neutralizados por íons positivos. O processo inverso na segunda metade do ciclo pode eliminar o acúmulo de cargas no eletrodo, e o processo de descarga pode prosseguir normalmente.
2. Eletrodos de alta frequência geram polarização automática. Em dispositivos de radiofrequência com estrutura de eletrodos planos, os eletrodos de alta frequência no circuito, utilizando acoplamento capacitivo, geram tensão de polarização automática. A grande diferença entre a velocidade de migração dos elétrons e a velocidade de migração dos íons durante a descarga permite que os elétrons atinjam uma velocidade de movimento maior em um dado momento, enquanto a menor velocidade dos íons causa acúmulo. O eletrodo de alta frequência permanece em um potencial negativo durante a maior parte de cada ciclo, resultando em uma tensão negativa na região de contato, o que caracteriza o fenômeno de polarização automática do eletrodo de alta frequência.
A polarização automática gerada pelo eletrodo de descarga de radiofrequência acelera o bombardeio iônico do eletrodo catódico, emitindo continuamente elétrons secundários para manter o processo de descarga. Essa polarização automática desempenha um papel semelhante à queda de tensão catódica em uma descarga luminescente de corrente contínua. Apesar de utilizar uma fonte de alimentação de radiofrequência, a descarga pode ser estável devido à tensão de polarização automática gerada pelo eletrodo de alta frequência, que atinge 500-1000 V.
3. A descarga de radiofrequência desempenha um papel importante na descarga luminescente à pressão atmosférica e na descarga luminescente de barreira dielétrica, que serão apresentadas posteriormente.
Data da publicação: 21/06/2023