1. Полезно для магнетронного распыления и нанесения изоляционных пленок. Быстрое изменение полярности электродов позволяет напрямую распылять изоляционные мишени для получения изоляционных пленок. Если для распыления и нанесения изоляционной пленки используется источник постоянного тока, изоляционная пленка блокирует проникновение положительных ионов к катоду, образуя слой накопления положительных ионов, склонный к пробою и воспламенению. После нанесения изоляционной пленки на анод электроны блокируются, что приводит к исчезновению анода. При использовании источника ВЧ-излучения для нанесения изоляционной пленки, из-за чередования полярности электродов, положительные заряды, накопленные на катоде в первой половине цикла, нейтрализуются электронами во второй половине цикла, а электроны, накопленные на аноде, нейтрализуются положительными ионами. Противоположный процесс во второй половине цикла позволяет устранить накопление зарядов на электроде, и процесс разряда может протекать нормально.
2. Высокочастотные электроды генерируют самосмещение. В радиочастотном устройстве с плоской электродной структурой высокочастотные электроды в цепи, использующие емкостную связь для согласования, генерируют напряжение самосмещения. Огромная разница между скоростью миграции электронов и скоростью миграции ионов в разряде позволяет электронам достигать большей скорости движения в заданный момент времени, в то время как более низкая скорость ионов приводит к накоплению. Высокочастотный электрод находится под отрицательным потенциалом большую часть каждого цикла, что приводит к отрицательному напряжению на поверхности — это явление самосмещения высокочастотного электрода.
Самопроизвольное смещение, создаваемое ВЧ-разрядным электродом, ускоряет ионную бомбардировку катодного электрода, вызывая непрерывный выброс вторичных электронов и поддерживая процесс разряда. Самопроизвольное смещение играет аналогичную роль, как и падение напряжения на катоде в постоянном тлеющем разряде. Несмотря на использование ВЧ-источника питания, разряд может быть стабильным благодаря напряжению самопроизвольного смещения, создаваемому высокочастотным электродом, достигающему 500-1000 В.
3. Радиочастотный разряд играет важную роль в тлеющем разряде при атмосферном давлении и тлеющем разряде в диэлектрическом барьере, описанных позже.
Дата публикации: 21 июня 2023 г.