Penggunaan pelepasan RF

1. Bermanfaat untuk filem penebat percikan dan penyaduran. Perubahan pesat dalam kekutuban elektrod boleh digunakan untuk menyemburkan secara langsung sasaran penebat untuk mendapatkan filem penebat. Jika sumber kuasa DC digunakan untuk menyemburkan dan memendapkan filem penebat, filem penebat akan menyekat ion positif daripada memasuki katod, membentuk lapisan pengumpulan ion positif, yang terdedah kepada kerosakan dan pencucuhan. Selepas memendapkan filem penebat pada anod, elektron disekat daripada memasuki anod, mengakibatkan fenomena kehilangan anod. Apabila menggunakan sumber kuasa RF untuk menyalut filem penebat, disebabkan oleh kekutuban elektrod yang berselang-seli, cas positif yang terkumpul pada katod pada separuh pertama kitaran akan dineutralkan oleh elektron pada separuh kedua kitaran, dan elektron yang terkumpul pada anod akan dineutralkan oleh ion positif. Proses sebaliknya dalam separuh kitaran kedua boleh menghapuskan pengumpulan cas pada elektrod, dan proses nyahcas boleh berjalan seperti biasa.

2. Elektrod frekuensi tinggi menjana bias kendiri. Dalam peranti RF dengan struktur elektrod rata, elektrod frekuensi tinggi dalam litar yang menggunakan padanan gandingan kapasitif menjana voltan bias kendiri. Perbezaan besar antara kelajuan penghijrahan elektron dan kelajuan penghijrahan ion dalam nyahcas membolehkan elektron mencapai kelajuan pergerakan yang lebih besar pada masa tertentu, manakala kelajuan ion yang lebih perlahan menyebabkan pengumpulan. Elektrod frekuensi tinggi berada pada potensi negatif untuk kebanyakan setiap kitaran, mengakibatkan voltan negatif pada rupa bumi, yang merupakan fenomena bias kendiri elektrod frekuensi tinggi.

Pincang kendiri yang dihasilkan oleh elektrod nyahcas RF mempercepatkan pengeboman ion elektrod katod untuk memancarkan elektron Sekunder secara berterusan bagi mengekalkan proses nyahcas, dan bias kendiri memainkan peranan yang serupa dengan penurunan katod dalam nyahcas cahaya DC. Walaupun menggunakan bekalan kuasa RF, nyahcas boleh stabil disebabkan oleh voltan bias kendiri yang dihasilkan oleh elektrod frekuensi tinggi mencapai 500-1000V.

3. Nyahcas frekuensi radio memainkan peranan penting dalam nyahcas cahaya tekanan atmosfera dan nyahcas cahaya penghalang dielektrik yang diperkenalkan kemudian.