1. Migunani kanggo nyembur lan nglapisi film insulasi. Owah-owahan polaritas elektroda sing cepet bisa digunakake kanggo nyembur langsung target insulasi kanggo entuk film insulasi. Yen sumber daya DC digunakake kanggo nyembur lan nyimpen film insulasi, film insulasi bakal ngalangi ion positif mlebu katoda, mbentuk lapisan akumulasi ion positif, sing rentan rusak lan kobong. Sawise nyimpen film insulasi ing anoda, elektron diblokir mlebu anoda, sing nyebabake fenomena ilang anoda. Nalika nggunakake sumber daya RF kanggo nutupi film insulasi, amarga polaritas elektroda sing ganti-ganti, muatan positif sing nglumpuk ing katoda ing separo pisanan siklus bakal dinetralisir dening elektron ing separo kapindho siklus, lan elektron sing nglumpuk ing anoda bakal dinetralisir dening ion positif. Proses sing ngelawan ing siklus separo kapindho bisa ngilangi akumulasi muatan ing elektroda, lan proses discharge bisa ditindakake kanthi normal.
2. Elektroda frekuensi dhuwur ngasilake bias dhewe. Ing piranti RF kanthi struktur elektroda rata, elektroda frekuensi dhuwur ing sirkuit sing nggunakake pencocokan kopling kapasitif ngasilake voltase bias dhewe. Bentenane gedhe antarane kecepatan migrasi elektron lan kecepatan migrasi ion ing discharge ngidini elektron entuk kecepatan gerakan sing luwih gedhe ing wektu tartamtu, dene kecepatan ion sing luwih alon nyebabake akumulasi. Elektroda frekuensi dhuwur ana ing potensial negatif kanggo meh saben siklus, sing nyebabake voltase negatif ing medan, sing minangka fenomena bias dhewe saka elektroda frekuensi dhuwur.
Bias mandiri sing diasilake dening elektroda debit RF nyepetake pemboman ion elektroda katoda kanggo terus ngetokake elektron sekunder kanggo njaga proses debit, lan bias mandiri nduweni peran sing padha karo penurunan katoda ing debit cahya DC. Sanajan nggunakake catu daya RF, debit bisa stabil amarga voltase bias mandiri sing diasilake dening elektroda frekuensi dhuwur tekan 500-1000V.
3. Discharge frekuensi radio nduweni peran penting ing discharge pijar tekanan atmosfer lan discharge pijar alangi dielektrik sing dikenalake mengko.
Wektu kiriman: 21 Juni 2023