1. Utile per la deposizione e la placcatura di film isolanti. Il rapido cambiamento di polarità degli elettrodi può essere utilizzato per deporre direttamente film isolanti tramite sputtering. Se si utilizza un alimentatore CC per la deposizione e la placcatura del film isolante, quest'ultimo blocca l'ingresso degli ioni positivi al catodo, formando uno strato di accumulo di ioni positivi, soggetto a scariche elettriche e incendi. Dopo la deposizione del film isolante sull'anodo, gli elettroni vengono bloccati, causando la scomparsa dell'anodo stesso. Utilizzando un alimentatore RF per la deposizione del film isolante, grazie all'alternanza di polarità degli elettrodi, le cariche positive accumulate sul catodo nella prima metà del ciclo vengono neutralizzate dagli elettroni nella seconda metà, e gli elettroni accumulati sull'anodo vengono neutralizzati dagli ioni positivi. Il processo inverso nella seconda metà del ciclo elimina l'accumulo di cariche sull'elettrodo, consentendo al processo di scarica di procedere normalmente.
2. Gli elettrodi ad alta frequenza generano una polarizzazione automatica. Nei dispositivi RF con struttura a elettrodi piatti, gli elettrodi ad alta frequenza nel circuito, che utilizzano l'accoppiamento capacitivo, generano una tensione di polarizzazione automatica. L'enorme differenza tra la velocità di migrazione degli elettroni e quella degli ioni nella scarica consente agli elettroni di raggiungere una maggiore velocità di movimento in un dato intervallo di tempo, mentre la minore velocità degli ioni provoca un accumulo. L'elettrodo ad alta frequenza si trova a un potenziale negativo per la maggior parte di ogni ciclo, con conseguente tensione negativa sul piano di contatto, fenomeno noto come polarizzazione automatica dell'elettrodo ad alta frequenza.
La polarizzazione automatica generata dall'elettrodo di scarica RF accelera il bombardamento ionico dell'elettrodo catodico, emettendo continuamente elettroni secondari per mantenere il processo di scarica. Questa polarizzazione automatica svolge un ruolo simile alla caduta di tensione catodica nella scarica a bagliore in corrente continua. Nonostante l'utilizzo di un alimentatore RF, la scarica risulta stabile grazie alla tensione di polarizzazione automatica generata dall'elettrodo ad alta frequenza, che raggiunge valori compresi tra 500 e 1000 V.
3. La scarica a radiofrequenza svolge un ruolo importante nella scarica a bagliore a pressione atmosferica e nella scarica a bagliore a barriera dielettrica, introdotte successivamente.
Data di pubblicazione: 21 giugno 2023