1. Тусгаарлагч хальсыг цацаж, бүрэхэд ашигтай. Электродын туйлшралын огцом өөрчлөлтийг тусгаарлагч байг шууд цацаж, тусгаарлагч хальс гаргаж авахад ашиглаж болно. Хэрэв тогтмол гүйдлийн тэжээлийн эх үүсвэрийг ашиглан тусгаарлагч хальсыг цацаж, хуримтлуулбал тусгаарлагч хальс нь эерэг ионуудыг катод руу орохоос хааж, эерэг ион хуримтлагдах давхарга үүсгэдэг бөгөөд энэ нь эвдэрч, гал авалцах хандлагатай байдаг. Анод дээр тусгаарлагч хальс байрлуулсны дараа электронууд анод руу орохоос хаагдах бөгөөд энэ нь анод алга болох үзэгдэл үүсгэдэг. Тусгаарлагч хальсыг бүрэхийн тулд RF тэжээлийн эх үүсвэрийг ашиглах үед электродуудын ээлжлэн туйлшралын улмаас циклийн эхний хагаст катод дээр хуримтлагдсан эерэг цэнэгүүд циклийн хоёрдугаар хагаст электронуудаар саармагжиж, анод дээр хуримтлагдсан электронууд эерэг ионуудаар саармагжуулагдана. Хоёрдугаар хагас циклийн эсрэг үйл явц нь электрод дээрх цэнэгийн хуримтлалыг арилгаж, цэнэггүйжүүлэх үйл явц хэвийн үргэлжилж болно.
2. Өндөр давтамжийн электродууд нь өөрөө гажуудал үүсгэдэг. Хавтгай электродын бүтэцтэй RF төхөөрөмжид багтаамжийн холболтын тохируулга ашиглан хэлхээнд байгаа өндөр давтамжийн электродууд нь өөрөө гажуудалтай хүчдэл үүсгэдэг. Электроны шилжилтийн хурд ба цэнэг алдалтын үед ионы шилжилтийн хурдны хоорондох асар том ялгаа нь электронууд тодорхой хугацаанд илүү их хөдөлгөөний хурдад хүрэх боломжийг олгодог бол ионы хурд удаан байх нь хуримтлал үүсгэдэг. Өндөр давтамжийн электрод нь мөчлөг бүрийн ихэнх хэсэгт сөрөг потенциалтай байдаг тул газар дээр сөрөг хүчдэл үүсдэг бөгөөд энэ нь өндөр давтамжийн электродын өөрөө гажуудал үүсэх үзэгдэл юм.
RF цэнэг алдалтын электродоос үүссэн өөрийн гажуудал нь катодын электродын ионы бөмбөгдөлтийг хурдасгаж, цэнэг алдалтын процессыг хадгалахын тулд хоёрдогч электронуудыг тасралтгүй ялгаруулдаг бөгөөд өөрийн гажуудал нь тогтмол гүйдлийн гэрлийн цэнэг алдалтын катодын уналттай ижил төстэй үүрэг гүйцэтгэдэг. Хэдийгээр RF тэжээлийн хангамж ашиглаж байгаа ч өндөр давтамжийн электродоос үүссэн өөрийн гажуудлын хүчдэл 500-1000В хүрдэг тул цэнэг алдалт тогтвортой байж болно.
3. Радио давтамжийн цэнэг алдалт нь хожим нэвтрүүлсэн атмосферийн даралтын гэрэлтэлтийн цэнэг алдалт болон диэлектрик хаалтын гэрэлтэлтийн цэнэг алдалтад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 6-р сарын 21