1. Yalıtım filmi püskürtme ve kaplama için faydalıdır. Elektrot polaritesindeki hızlı değişim, yalıtım filmlerini elde etmek için yalıtım hedeflerine doğrudan püskürtme yapmak için kullanılabilir. Yalıtım filmi püskürtme ve kaplama için bir DC güç kaynağı kullanıldığında, yalıtım filmi pozitif iyonların katoda girmesini engelleyerek, arızaya ve tutuşmaya yatkın bir pozitif iyon birikim tabakası oluşturur. Anoda yalıtım filmi kaplandıktan sonra, elektronların anoda girmesi engellenir ve anotun kaybolması olgusuna neden olur. Yalıtım filmi kaplamak için bir RF güç kaynağı kullanıldığında, elektrotların alternatif polaritesi nedeniyle, döngünün ilk yarısında katotta biriken pozitif yükler, döngünün ikinci yarısında elektronlar tarafından nötralize edilir ve anotta biriken elektronlar pozitif iyonlar tarafından nötralize edilir. Döngünün ikinci yarısındaki ters işlem, elektrottaki yük birikimini ortadan kaldırabilir ve deşarj işlemi normal şekilde devam edebilir.
2. Yüksek frekanslı elektrotlar kendiliğinden önyargı oluşturur. Düz elektrot yapısına sahip RF cihazında, kapasitif kuplaj eşleştirmesi kullanan devredeki yüksek frekanslı elektrotlar kendiliğinden önyargı voltajı üretir. Deşarjda elektron göç hızı ile iyon göç hızı arasındaki büyük fark, elektronların belirli bir zamanda daha yüksek bir hareket hızına ulaşmasını sağlarken, daha yavaş iyon hızı birikmeye neden olur. Yüksek frekanslı elektrot, her döngünün büyük bir bölümünde negatif potansiyelde bulunur ve bu da devrede negatif bir voltaja neden olur; bu da yüksek frekanslı elektrotun kendiliğinden önyargılanması olgusudur.
RF deşarj elektrodu tarafından üretilen öz-önyargı, katot elektrodunun iyon bombardımanını hızlandırarak sürekli olarak ikincil elektronlar yayar ve deşarj sürecini sürdürür; bu öz-önyargı, DC parıldama deşarjındaki katot düşüşüne benzer bir rol oynar. RF güç kaynağı kullanılmasına rağmen, yüksek frekanslı elektrot tarafından üretilen öz-önyargı voltajının 500-1000V'a ulaşması sayesinde deşarj kararlı olabilir.
3. Radyo frekans deşarjı, daha sonra tanıtılan atmosferik basınçlı parıldama deşarjı ve dielektrik bariyer parıldama deşarjında önemli bir rol oynamaktadır.
Yayın tarihi: 21 Haz-2023