1. Korzystne dla napylania i galwanizacji folii izolacyjnej. Szybka zmiana polaryzacji elektrody może być wykorzystana do bezpośredniego napylania tarcz izolacyjnych w celu uzyskania warstw izolacyjnych. Jeśli do napylania i osadzania folii izolacyjnej zostanie użyte źródło prądu stałego, folia izolacyjna zablokuje dostęp jonów dodatnich do katody, tworząc warstwę akumulacji jonów dodatnich, podatną na przebicie i zapłon. Po osadzeniu warstwy izolacyjnej na anodzie, elektrony są blokowane przed wejściem do anody, co powoduje zjawisko zaniku anody. Podczas stosowania źródła zasilania RF do powlekania folii izolacyjnej, ze względu na zmienną biegunowość elektrod, ładunki dodatnie zgromadzone na katodzie w pierwszej połowie cyklu zostaną zneutralizowane przez elektrony w drugiej połowie cyklu, a elektrony zgromadzone na anodzie zostaną zneutralizowane przez jony dodatnie. Odwrotny proces w drugiej połowie cyklu może wyeliminować akumulację ładunków na elektrodzie, a proces rozładowania może przebiegać prawidłowo.
2. Elektrody wysokiej częstotliwości generują napięcie samopolaryzacji. W urządzeniu RF z płaską strukturą elektrody, elektrody wysokiej częstotliwości w obwodzie, wykorzystujące dopasowanie sprzężenia pojemnościowego, generują napięcie samopolaryzacji. Ogromna różnica między prędkością migracji elektronów a prędkością migracji jonów podczas wyładowania umożliwia elektronom osiągnięcie większej prędkości ruchu w danym momencie, podczas gdy mniejsza prędkość jonów powoduje akumulację. Elektroda wysokiej częstotliwości znajduje się pod ujemnym potencjałem przez większość każdego cyklu, co powoduje ujemne napięcie na powierzchni, co jest zjawiskiem samopolaryzacji elektrody wysokiej częstotliwości.
Samopolaryzacja generowana przez elektrodę wyładowczą RF przyspiesza bombardowanie jonami katody, co prowadzi do ciągłej emisji elektronów wtórnych i podtrzymuje proces rozładowania. Samopolaryzacja odgrywa podobną rolę jak spadek napięcia na katodzie w wyładowaniu jarzeniowym prądu stałego. Pomimo zastosowania zasilacza RF, rozładowanie może być stabilne dzięki napięciu samopolaryzacji generowanemu przez elektrodę wysokoczęstotliwościową, sięgającemu 500-1000 V.
3. Wyładowanie o częstotliwości radiowej odgrywa ważną rolę w wyładowaniu jarzeniowym pod ciśnieniem atmosferycznym i wyładowaniu jarzeniowym z barierą dielektryczną, które zostały wprowadzone później.
Czas publikacji: 21-06-2023