1. มีประโยชน์สำหรับการสปัตเตอร์และการชุบฟิล์มฉนวน การเปลี่ยนแปลงขั้วไฟฟ้าอย่างรวดเร็วสามารถใช้ในการสปัตเตอร์เป้าหมายฉนวนโดยตรงเพื่อให้ได้ฟิล์มฉนวน หากใช้แหล่งจ่ายไฟ DC ในการสปัตเตอร์และเคลือบฟิล์มฉนวน ฟิล์มฉนวนจะปิดกั้นไอออนบวกไม่ให้เข้าสู่แคโทด ทำให้เกิดชั้นสะสมไอออนบวก ซึ่งมีแนวโน้มที่จะแตกตัวและติดไฟได้ง่าย หลังจากเคลือบฟิล์มฉนวนบนแอโนดแล้ว อิเล็กตรอนจะถูกปิดกั้นไม่ให้เข้าสู่แอโนด ส่งผลให้แอโนดหายไป เมื่อใช้แหล่งจ่ายไฟ RF ในการเคลือบฟิล์มฉนวน เนื่องจากขั้วไฟฟ้าสลับกัน ประจุบวกที่สะสมบนแคโทดในครึ่งแรกของรอบจะถูกทำให้เป็นกลางโดยอิเล็กตรอนในครึ่งหลังของรอบ และอิเล็กตรอนที่สะสมบนแอโนดจะถูกทำให้เป็นกลางโดยไอออนบวก กระบวนการตรงกันข้ามในครึ่งหลังของรอบสามารถกำจัดประจุที่สะสมบนขั้วไฟฟ้าได้ และกระบวนการคายประจุสามารถดำเนินต่อไปได้ตามปกติ
2. ขั้วไฟฟ้าความถี่สูงสร้างไบแอสในตัวเอง ในอุปกรณ์ RF ที่มีโครงสร้างขั้วไฟฟ้าแบบแบน ขั้วไฟฟ้าความถี่สูงในวงจรที่ใช้การจับคู่แบบคัปปลิ้งจะสร้างแรงดันไบแอสในตัวเอง ความแตกต่างอย่างมากระหว่างความเร็วในการเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนและความเร็วในการเคลื่อนที่ของไอออนในการปล่อยประจุ ทำให้อิเล็กตรอนสามารถเคลื่อนที่ได้เร็วขึ้นในเวลาที่กำหนด ในขณะที่ความเร็วของไอออนที่ช้ากว่าทำให้เกิดการสะสม ขั้วไฟฟ้าความถี่สูงจะมีศักย์ไฟฟ้าเป็นลบเกือบตลอดแต่ละรอบ ส่งผลให้เกิดแรงดันลบที่พื้นผิว ซึ่งเป็นปรากฏการณ์ไบแอสในตัวเองของขั้วไฟฟ้าความถี่สูง
แรงดันไบแอสในตัวเองที่เกิดจากอิเล็กโทรดปล่อยประจุ RF จะเร่งการชนของไอออนกับอิเล็กโทรดแคโทด ทำให้เกิดการปล่อยอิเล็กตรอนทุติยภูมิอย่างต่อเนื่องเพื่อรักษากระบวนการปล่อยประจุ และแรงดันไบแอสในตัวเองนี้มีบทบาทคล้ายกับแรงดันตกคร่อมแคโทดในการปล่อยประจุเรืองแสงแบบ DC แม้ว่าจะใช้แหล่งจ่ายไฟ RF แต่การปล่อยประจุยังคงเสถียรได้เนื่องจากแรงดันไบแอสในตัวเองที่เกิดจากอิเล็กโทรดความถี่สูงมีค่าสูงถึง 500-1000 โวลต์
3. การปล่อยประจุคลื่นความถี่วิทยุมีบทบาทสำคัญในการปล่อยประจุเรืองแสงที่ความดันบรรยากาศและการปล่อยประจุเรืองแสงที่กั้นด้วยฉนวนไฟฟ้า ซึ่งจะกล่าวถึงในภายหลัง
วันที่โพสต์: 21 มิถุนายน 2023