1. Kapaki-pakinabang para sa sputtering at plating insulation film. Ang mabilis na pagbabago sa polarity ng electrode ay maaaring gamitin upang direktang i-sput ang mga insulating target upang makakuha ng mga insulating film. Kung ang isang DC power source ay ginagamit upang i-sput at i-deposito ang insulation film, haharangan ng insulation film ang mga positibong ion sa pagpasok sa cathode, na bubuo ng isang positibong ion accumulation layer, na madaling masira at mag-apoy. Pagkatapos magdeposito ng insulating film sa anode, ang mga electron ay naharangan sa pagpasok sa anode, na nagreresulta sa phenomenon ng pagkawala ng anode. Kapag gumagamit ng RF power source upang pahiran ang insulation film, dahil sa alternating polarity ng mga electron, ang mga positibong charge na naipon sa cathode sa unang kalahati ng cycle ay neutralisahin ng mga electron sa ikalawang kalahati ng cycle, at ang mga electron na naipon sa anode ay neutralisahin ng mga positibong ion. Ang kabaligtaran na proseso sa ikalawang kalahati ng cycle ay maaaring mag-alis ng akumulasyon ng mga charge sa electrode, at ang proseso ng paglabas ay maaaring magpatuloy nang normal.
2. Ang mga high-frequency electrode ay bumubuo ng self bias. Sa RF device na may patag na istruktura ng electrode, ang mga high-frequency electrode sa circuit na gumagamit ng capacitive coupling matching ay bumubuo ng self bias voltage. Ang malaking pagkakaiba sa pagitan ng bilis ng paglipat ng electron at bilis ng paglipat ng ion sa discharge ay nagbibigay-daan sa mga electron na makamit ang mas mataas na bilis ng paggalaw sa isang takdang oras, habang ang mas mabagal na bilis ng ion ay nagdudulot ng akumulasyon. Ang high-frequency electrode ay nasa negatibong potensyal para sa halos bawat cycle, na nagreresulta sa negatibong boltahe sa lupain, na siyang phenomenon ng self bias ng high-frequency electrode.
Ang self bias na nalilikha ng RF discharge electrode ay nagpapabilis sa ion bombardment ng cathode electrode upang patuloy na maglabas ng mga Secondary electron upang mapanatili ang proseso ng discharge, at ang self bias ay gumaganap ng katulad na papel sa cathode drop sa DC glow discharge. Bagama't gumagamit ng RF power supply, ang discharge ay maaaring maging matatag dahil sa self bias voltage na nalilikha ng high-frequency electrode na umaabot sa 500-1000V.
3. Ang radio frequency discharge ay gumaganap ng mahalagang papel sa atmospheric pressure glow discharge at dielectric barrier glow discharge na ipinakilala kalaunan.
Oras ng pag-post: Hunyo-21-2023