1. ఇన్సులేషన్ ఫిల్మ్ను స్పుటరింగ్ మరియు ప్లేటింగ్ చేయడానికి ప్రయోజనకరమైనది. ఎలక్ట్రోడ్ ధ్రువణంలో వేగవంతమైన మార్పును ఉపయోగించి, ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్లను పొందడానికి ఇన్సులేటింగ్ టార్గెట్లను నేరుగా స్పుటర్ చేయవచ్చు. ఇన్సులేషన్ ఫిల్మ్ను స్పుటర్ చేయడానికి మరియు డిపాజిట్ చేయడానికి DC పవర్ సోర్స్ను ఉపయోగిస్తే, ఇన్సులేషన్ ఫిల్మ్ కాథోడ్లోకి ప్రవేశించే పాజిటివ్ అయాన్లను అడ్డుకుంటుంది, దీనివల్ల పాజిటివ్ అయాన్ల సంచిత పొర ఏర్పడుతుంది, ఇది బ్రేక్డౌన్ మరియు ఇగ్నిషన్కు గురయ్యే అవకాశం ఉంది. ఆనోడ్పై ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్ను డిపాజిట్ చేసిన తర్వాత, ఎలక్ట్రాన్లు ఆనోడ్లోకి ప్రవేశించకుండా నిరోధించబడతాయి, దీని ఫలితంగా ఆనోడ్ అదృశ్యమయ్యే దృగ్విషయం ఏర్పడుతుంది. ఇన్సులేషన్ ఫిల్మ్ను పూయడానికి RF పవర్ సోర్స్ను ఉపయోగించినప్పుడు, ఎలక్ట్రోడ్ల యొక్క ఆల్టర్నేటింగ్ ధ్రువణత కారణంగా, సైకిల్ యొక్క మొదటి భాగంలో కాథోడ్పై పేరుకుపోయిన పాజిటివ్ ఛార్జీలు సైకిల్ యొక్క రెండవ భాగంలో ఎలక్ట్రాన్ల ద్వారా తటస్థీకరించబడతాయి మరియు ఆనోడ్పై పేరుకుపోయిన ఎలక్ట్రాన్లు పాజిటివ్ అయాన్ల ద్వారా తటస్థీకరించబడతాయి. సైకిల్ యొక్క రెండవ భాగంలో జరిగే ఈ వ్యతిరేక ప్రక్రియ ఎలక్ట్రోడ్పై ఛార్జీల సంచితాన్ని తొలగించగలదు మరియు డిశ్చార్జ్ ప్రక్రియ సాధారణంగా కొనసాగగలదు.
2. అధిక పౌనఃపున్య ఎలక్ట్రోడ్లు స్వీయ బయాస్ను ఉత్పత్తి చేస్తాయి. ఫ్లాట్ ఎలక్ట్రోడ్ నిర్మాణం కలిగిన RF పరికరంలో, కెపాసిటివ్ కప్లింగ్ మ్యాచింగ్ను ఉపయోగించే సర్క్యూట్లోని అధిక-పౌనఃపున్య ఎలక్ట్రోడ్లు స్వీయ బయాస్ వోల్టేజ్ను ఉత్పత్తి చేస్తాయి. డిశ్చార్జ్లో ఎలక్ట్రాన్ వలస వేగం మరియు అయాన్ వలస వేగం మధ్య ఉన్న భారీ వ్యత్యాసం, ఎలక్ట్రాన్లు ఒక నిర్దిష్ట సమయంలో అధిక కదలిక వేగాన్ని సాధించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది, అయితే నెమ్మదైన అయాన్ వేగం సంచయానికి కారణమవుతుంది. అధిక-పౌనఃపున్య ఎలక్ట్రోడ్ ప్రతి సైకిల్లో చాలా వరకు నెగటివ్ పొటెన్షియల్లో ఉంటుంది, దీని ఫలితంగా ఆ ప్రాంతంలో నెగటివ్ వోల్టేజ్ ఏర్పడుతుంది, ఇదే అధిక-పౌనఃపున్య ఎలక్ట్రోడ్ యొక్క స్వీయ బయాస్ దృగ్విషయం.
RF డిశ్చార్జ్ ఎలక్ట్రోడ్ ద్వారా ఉత్పత్తి అయ్యే సెల్ఫ్ బయాస్, డిశ్చార్జ్ ప్రక్రియను కొనసాగించడానికి సెకండరీ ఎలక్ట్రాన్లను నిరంతరం విడుదల చేసేలా కాథోడ్ ఎలక్ట్రోడ్పై అయోన్ల తాకిడిని వేగవంతం చేస్తుంది, మరియు ఈ సెల్ఫ్ బయాస్, DC గ్లో డిశ్చార్జ్లోని కాథోడ్ డ్రాప్ మాదిరిగానే పాత్ర పోషిస్తుంది. RF పవర్ సప్లైని ఉపయోగించినప్పటికీ, అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ ఎలక్ట్రోడ్ ద్వారా ఉత్పత్తి అయ్యే సెల్ఫ్ బయాస్ వోల్టేజ్ 500-1000Vకి చేరడం వల్ల డిశ్చార్జ్ స్థిరంగా ఉంటుంది.
3. తరువాత పరిచయం చేయబడిన వాతావరణ పీడన గ్లో డిశ్చార్జ్ మరియు డైఎలెక్ట్రిక్ బారియర్ గ్లో డిశ్చార్జ్లలో రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ డిశ్చార్జ్ ఒక ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తుంది.
పోస్ట్ చేసిన సమయం: జూన్-21-2023